[发明专利]一种氧化镓相结纳米柱阵列及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将Ga₂O₃籽晶层溶液旋涂于衬底表面，烘干，形成覆盖Ga₂O₃籽晶层的衬底，其中，Ga₂O₃籽晶层溶液以18μL乙醇胺、0.0741g的异丙醇镓、2.98mL的乙二醇甲醚的配比为前驱体，在60℃水浴加热60min制得；旋涂的转速为3000r/min；烘干条件为300℃保温30min，再500℃保温60min；

步骤二，将步骤一所得的覆盖Ga₂O₃籽晶层的衬底置于Ga(NO₃)₃生长溶液中，水热反应，形成GaOOH纳米柱阵列，其中，Ga(NO₃)₃生长溶液的浓度为0.15～0.3g/30mL；水热的温度为150℃，水热的生长时间为2～24h；

步骤三，将步骤二所得的GaOOH纳米柱阵列于400℃煅烧，得到α-Ga₂O₃纳米柱阵列；

步骤四，将步骤三所得的α-Ga₂O₃纳米柱阵列高温煅烧，形成α/β-Ga₂O₃相结纳米柱阵列；

步骤四的高温煅烧为700℃下煅烧20-60min，或在780℃-820℃，高温煅烧时间为10min；所述步骤三的400℃煅烧的时间为240min；

所述α/β-Ga₂O₃相结纳米柱阵列是由α-Ga₂O₃纳米柱为内核，β-Ga₂O₃为外壳包裹于α-Ga₂O₃纳米柱构成；Ga₂O₃相结纳米柱的直径为40～800nm，Ga₂O₃相结纳米柱的高度为0.2～20μm。

2.根据权利要求1所述的一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法，其特征在于，所述衬底为FTO导电玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法，其特征在于，所述步骤一的旋涂时间为15秒。

4.根据权利要求2所述的一种氧化镓相结纳米柱阵列的制备方法，其特征在于，所述FTO导电玻璃经过预处理，所述预处理分别用丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗10min，然后在烘箱中干燥。