[发明专利]一种设有记忆合金的压力传感器在审
申请号: | 201710991373.3 | 申请日: | 2017-10-23 |
公开(公告)号: | CN109696271A | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 曹政;潘天峰 | 申请(专利权)人: | 南京开天眼无人机科技有限公司 |
主分类号: | G01L19/14 | 分类号: | G01L19/14;G01L1/26 |
代理公司: | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人: | 陈琛 |
地址: | 210032 江苏省南京市高新开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盖体 记忆合金片 通孔 基板 压力传感器芯片 集成电路芯片 压力传感器 记忆合金 收容空间 间隔设置 电连接 传感器 散热 侧壁 顶壁 金线 卷起 向内 覆盖 遮挡 通气 杂物 回复 并列 体内 | ||
1.一种设有记忆合金的压力传感器,其特征在于,包括盖体(1)和基板(2),所述盖体(1)和基板(2)围成收容空间(3);所述收容空间(3)内,基板(2)上并列间隔设置集成电路芯片(4)和压力传感器芯片(5);所述基板(2)、集成电路芯片(4)和压力传感器芯片(5)通过金线(6)实现三者之间的电连接;所述盖体(1)的顶壁和侧壁分别开有若干通孔(7),所述通孔(7)上覆盖有单向记忆合金片,所述单向记忆合金片的一边固定连接盖体(1)。
2.根据权利要求1所述的一种设有记忆合金的压力传感器,其特征在于,所述单向记忆合金片为四边形,其一个边与盖体(1)固定连接,其余边可活动。
3.根据权利要求1所述的一种设有记忆合金的压力传感器,其特征在于,所述盖体(1)的顶壁两端分别设有一个通孔(7)。
4.根据权利要求1所述的一种设有记忆合金的压力传感器,其特征在于,所述盖体(1)的相对两个侧壁上分别设有一个通孔(7)。
5.根据权利要求1所述的一种设有记忆合金的压力传感器,其特征在于,所述通孔(7)与其所在顶壁或侧壁的面积比为1:80-1:100。
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