[发明专利]一种金刚线润滑冷却液及应用

权利要求书

1.一种金刚线润滑冷却液，其特征在于，以重量份计，其制备原料包括：乙二醇10-50份、防腐剂1-5份、消泡剂1-3份、极压剂1-3份、防锈剂1-10份、润湿剂10-20份、乳化剂6-10份、分散剂10-20份、去离子水20-50份；

所述乳化剂为聚氧乙烯烷基醇酰胺6501与石油磺酸钠的混合物，所述聚氧乙烯烷基醇酰胺6501与石油磺酸钠的重量比为3：1；

所述分散剂为二硫代乙酰胺与硅树脂聚醚乳液的混合物；所述二硫代乙酰胺与硅树脂聚醚乳液的重量比为2：1。

2.如权利要求1所述的金刚线润滑冷却液，其特征在于，所述防腐剂选自苯甲酸或及其盐、山梨酸或及其盐中的至少一种。

3.如权利要求1所述的金刚线润滑冷却液，其特征在于，所述消泡剂选自聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚、聚二甲基硅氧烷中的至少一种。

4.如权利要求1所述的金刚线润滑冷却液，其特征在于，所述极压剂选自硼砂和/或硅酸钠。

5.如权利要求1所述的金刚线润滑冷却液，其特征在于，所述防锈剂选自三乙醇胺硼酸酯、三乙醇胺、钼酸钠、石油磺酸钡中的至少一种。

6.如权利要求1所述的金刚线润滑冷却液，其特征在于，所述润湿剂选自烷基醇聚氧乙烯醚、烷基醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烷基胺聚氧乙烯醚、烷基酸烷基酯中的至少一种。

7.一种如权利要求1-6中任一项权利要求所述的金刚线润滑冷却液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将乳化剂、极压剂、防锈剂、防腐剂、润湿剂加入到去离子水中，搅拌均匀；再加入乙二醇、分散剂、消泡剂，搅拌5h，即得。

8.一种如权利要求1-6中任一项权利要求所述的金刚线润滑冷却液在单晶硅、多晶硅、硅片、石英、氮化铟镓、砷化镓、锗加工的应用。