[发明专利]OLED面板的制作方法及OLED面板有效
| 申请号: | 201710957781.7 | 申请日: | 2017-10-13 | 
| 公开(公告)号: | CN107611283B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 | 
| 发明(设计)人: | 张良芬;张晓星;任章淳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 
| 主分类号: | H10K50/824 | 分类号: | H10K50/824;H10K71/00;H10K59/131 | 
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 | 
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | oled 面板 制作方法 | ||
1.一种OLED面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供TFT基板(100);
所述TFT基板(100)包括:衬底基板(110)、及设于所述衬底基板(110)上且间隔的TFT(120)及辅助电极(130);所述TFT(120)具有源极(121);
步骤S2、在所述TFT基板(100)上形成平坦层(200),对所述平坦层(200)进行图案化,形成分别暴露所述源极(121)、及辅助电极(130)的第一过孔(210)、及第二过孔(220);
步骤S3、在所述平坦层(200)上形成间隔的阳极(310)、及搭接电极(320);
所述阳极(310)经第一过孔(210)与源极(121)连接,所述搭接电极(320)经第二过孔(220)与所述辅助电极(130)连接;
步骤S4、在所述搭接电极(320)上形成多个表面具有尖角的金属凸起(400);
步骤S5、在所述平坦层(200)、阳极(310)、及搭接电极(320)上形成像素界定层(500),所述像素界定层(500)上设有暴露所述阳极(310)的第一开口(510),且所述像素界定层(500)暴露所述搭接电极(320)上设有金属凸起(400)的区域;
步骤S6、于所述第一开口(510)内的阳极(310)上依次形成空穴注入层(610)、空穴传输层(620)、及发光层(630);在所述发光层(630)、像素界定层(500)、搭接电极(320)、及金属凸起(400)上依次形成电子传输层(640)、电子注入层(650)、及阴极(700);
步骤S7、向所述辅助电极(130)或搭接电极(320)上施加电压,使所述电子传输层(640)及电子注入层(650)上与所述金属凸起(400)的尖角对应的部分被烧掉而形成多个第二开口(641),所述阴极(700)通过第二开口(641)与所述金属凸起(400)连接。
2.如权利要求1所述的OLED面板的制作方法,其特征在于,所述TFT(120)包括:设于所述衬底基板(110)上方的有源层(122)、于所述有源层(122)上依次设置的栅极绝缘层(123)及栅极(124)、覆盖所述有源层(122)及栅极(124)的层间绝缘层(125)、及设于层间绝缘层(125)上间隔的源极(121)及漏极(126);
所述辅助电极(130)包括设于所述层间绝缘层(125)上且与所述源极(121)、及漏极(126)均间隔的第一子辅助电极(131);所述第二过孔(220)暴露出所述第一子辅助电极(131);
所述层间绝缘层(125)上设有分别位于所述有源层(122)两侧上方的第三过孔(1251)及第四过孔(1252),所述源极(121)及漏极(126)分别通过所述第三过孔(1251)及第四过孔(1252)与所述有源层(122)的两侧连接。
3.如权利要求2所述的OLED面板的制作方法,其特征在于,所述辅助电极(130)还包括设于所述衬底基板(110)上的第二子辅助电极(132);
所述TFT基板(100)还包括:设于所述衬底基板(110)上且与第二子辅助电极(132)间隔的金属遮光层(140)、及设于所述衬底基板(110)上且覆盖所述金属遮光层(140)及第二子辅助电极(132)的缓冲层(150);所述有源层(122)设于所述缓冲层(150)上且对应位于金属遮光层(140)上方,所述层间绝缘层(125)设于所述缓冲层(150)上且覆盖所述有源层(122)及栅极(124);
所述缓冲层(150)及层间绝缘层(125)上设有暴露所述第二子辅助电极(132)的第五过孔(151),所述第一子辅助电极(131)经所述第五过孔(151)与所述第二子辅助电极(132)连接。
4.如权利要求2所述的OLED面板的制作方法,其特征在于,所述TFT基板(100)还包括:覆盖所述层间绝缘层(125)、源极(121)、漏极(126)、及第一子辅助电极(131)的钝化层(160);所述平坦层(200)形成于所述钝化层(160)上;所述钝化层(160)上设有分别暴露出所述源极(121)及第一子辅助电极(131)的第六过孔(161)及第七过孔(162);所述第一过孔(210)及第二过孔(220)分别位于所述第六过孔(161)及第七过孔(162)上方。
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