[发明专利]掩模板检测设备、掩模板检测方法以及相应的光源控制方法

说明书

本公开实施例提出了掩模板检测设备、掩模板检测方法和相应的光源控制方法。该设备包括：图像传感器，被配置为捕捉掩模板的图像；多个光源，布置在所述掩模板的与所述图像传感器相反的一侧，其中，所述多个光源中的至少一个光源能够在所述图像传感器捕捉所述掩模板的第一区域的图像时发光，其中，所述至少一个光源包括第一范围内的光源，所述第一范围与所述第一区域相对应且所述图像传感器在光源平面中的正投影的位置落在所述第一范围中。该光源控制方法包括：在图像传感器移动至与待检查掩模板的第一区域相对应的位置处时，开启布置在所述掩模板的与所述图像传感器相反的一侧的多个光源中与所述第一区域相对应的至少一个光源。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，更具体地涉及掩模板检测设备、掩模板检测方法以及相应的光源控制方法。

背景技术

在例如有机电致发光显示器(OLED)的生产工艺中，为了在基板上形成具有指定图案的有机发光层(例如，像素图案)，通常通过使用掩模将发光材料蒸镀在指定位置上来实现。例如，在使用精细金属掩模(FMM)的情况下，将OLED发光材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(LTPS)背板上。具体地，可以利用FMM上的图案，将红绿蓝有机物蒸镀到指定位置上。因此，掩模板上图案的准确度直接影响了OLED生产工艺的产品良率。

发明内容

为了保证掩模板上图案的准确度，目前用于检查掩模板质量的设备采用了通过电荷耦合器件(CCD)图像传感器对掩模板拍照以检查掩模板开口位置是否精确的方式。在该情况下，为CCD图像传感器提供照明的背光灯与顶部的CCD图像传感器的位置应当是同步的。但是，目前的背光灯在与CCD图像传感器的同步移动过程中实际上并不完全同步。更具体地，在大多数情况下，背光灯的移动慢于CCD图像传感器的移动，其仅保证最终位置与CCD图像传感器一致。

因此，在CCD图像传感器移动到目标位置之后，需要等待背光灯移动到目标位置，进而导致工艺时间延长。此外，背光灯在多次移动过程中伴随着一定程度的震动和晃动，背光灯移动时产生的震动和晃动对掩模板质量检查设备的精度产生影响，影响掩模板质量检查设备的稳定性、精度，进而可能造成掩模板图案偏差等不良后果。此外，背光灯一般是通过传送带提供动能的，因此在多次移动之后，背光灯条的两端可能会产生不平行移动的异常情况，导致背光灯与CCD图像传感器不能在目标位置进行同步，进而使得背光灯发出的光不能很好地被CCD图像传感器接收到并最终导致识别异常。

为了至少部分解决或减轻上述问题，提供了根据本公开实施例的掩模板掩模板检测设备和掩模板检测方法以及相应的光源控制方法。

根据一个方面，本公开的实施例提供了一种掩模板检测设备。该设备包括：图像传感器，被配置为捕捉掩模板的图像；多个光源，布置在所述掩模板的与所述图像传感器相反的一侧，其中，所述多个光源中的至少一个光源能够在所述图像传感器捕捉所述掩模板的第一区域的图像时发光，其中，所述至少一个光源包括第一范围内的光源，所述第一范围与所述第一区域相对应且所述图像传感器在光源平面中的正投影的位置落在所述第一范围中。

在一些实施例中，所述至少一个光源包括第二范围内的光源，所述第二范围是包括所述第一范围在内的、并沿所述图像传感器的预期移动方向延伸的预定范围。在一些实施例中，所述多个光源中除了所述至少一个光源之外的其他光源能够在所述图像传感器捕捉所述掩模板的第一区域的图像时不发光。在一些实施例中，所述多个光源设置在光源支撑结构上，所述光源支撑结构能够使得所述多个光源在出光方向上相对于所述掩模板移动。

根据另一方面，本公开的实施例提供了一种掩模板检测方法。该方法包括：将图像传感器移动至与待检查掩模板的第一区域相对应的位置处；开启布置在所述掩模板的与所述图像传感器相反的一侧的多个光源中与所述第一区域相对应的至少一个光源；以及捕捉所述第一区域的图像，其中，所述至少一个光源包括第一范围内的光源，所述第一范围与所述第一区域相对应且所述图像传感器在光源平面中的正投影的位置落在所述第一范围中。