[发明专利]一种硅棒生产用表层清洁装置

权利要求书

1.一种硅棒生产用表层清洁装置，包括装置主体（1）和顶盖（3），其特征在于：所述装置主体（1）的顶部嵌套有尘粒吸附器（101），所述装置主体（1）底部固定有外壳（2），所述外壳（2）的底部紧密连接有细毛丝（201），所述外壳（2）的内部安装有擦拭器（4），所述擦拭器（4）的两侧安装有风干器（401），所述风干器（401）的右侧固定有转轴（405），所述转轴（405）的左侧安装有传导轴（402）和第一皮带（404），所述转轴（405）通过第一皮带（44）与传导轴（402）活动连接，所述擦拭器（4）的底部活动连接有弹性板（403），所述外壳（2）的内部固定连接有滑道（5），所述滑道（5）的侧面固定连接有运动轨（505），所述运动轨（505）的侧面嵌套有从动轮（502），所述从动轮（502）的右侧安装有活动轮（503）和第二皮带（504），且活动轮（503）与从动轮（502）通过第二皮带（504）活动连接，所述顶盖（3）的上方固定连接有加固柱（301）。

2.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用表层清洁装置，其特征在于：所述尘粒吸附器（101）设置有两个，且尘粒吸附器（101）均匀的分布在装置本体（1）的顶部，所述尘粒吸附器（101）与外部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用表层清洁装置，其特征在于：所述顶盖（3）与装置本体（1）位于同一水平线，且顶盖（3）与装置本体（1）边界的形状相适配。

4.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用表层清洁装置，其特征在于：所述运动轨（505）的顶部设有稳流器（501），且所述稳流器（501）与运动轨（505）紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用表层清洁装置，其特征在于：所述细毛丝（201）围绕外壳（2）的底部，呈一个完整的“矩形”状。

6.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用表层清洁装置，其特征在于：所述弹性板（403）上覆盖着无尘布，且弹性板（403）为凸出结构，并呈“弧形”状。