[发明专利]一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置

说明书

本发明公开了一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置，该方法包括：获取标准液；对标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值；采用当前浓度系数对第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值；利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将浓度测量装置的当前浓度系数更新为新的浓度系数；其中，标准浓度值是标准液的标准浓度值。通过上述方式，浓度测量装置能够自动的对自身的浓度系数进行校正，以在测量浓度值时，能够测量的更加准确。

技术领域

本发明涉及蚀刻技术领域，特别是涉及一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置。

背景技术

显示面板的湿法蚀刻机台的蚀刻液(铝酸)由硝酸、磷酸、醋酸和少量的水组成。由于铝酸中的硝酸和醋酸的易挥发性质，在机台正常工作过程中，蚀刻液与显示面板的蚀刻反应过程、机台排气以及基板的携出都会使机台的溶液浓度发生变化。CMS(铝酸分析仪)的作用就是对机台容器内的蚀刻液进行采样、测定，时时监控铝酸的浓度变化，并对容易发生变化的溶液成分(硝酸、醋酸)进行补给，使蚀刻液浓度始终保持在其理论值附近，延长蚀刻液的使用寿命。

但是，因CMS采用的是滴定方式来测定溶液的浓度，在CMS使用一段时间后，测定的溶液浓度的准确度会发生偏差。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置，浓度测量装置能够自动的对自身的浓度系数进行校正，以在测量浓度值时，能够测量的更加准确。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种浓度测量装置的浓度系数自校正方法，浓度系数用于修正浓度测量装置测量的浓度值，该方法包括：S11、获取标准液；S12、对标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值；S13、采用当前浓度系数对第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值；S14、利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将浓度测量装置的当前浓度系数更新为新的浓度系数；其中，标准浓度值是标准液的标准浓度值。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种浓度测量装置，该装置包括：第一容器，用于获取标准液；测量器，用于对标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值；以及采用当前浓度系数对第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值；处理器，用于利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将浓度测量装置的当前浓度系数更新为新的浓度系数；其中，标准浓度值是标准液的标准浓度值。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种刻蚀装置，用于采用刻蚀液对刻蚀件进行刻蚀，该刻蚀装置包括上的溶液浓度测量装置。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明的浓度测量装置的浓度系数自校正方法，浓度系数用于修正浓度测量装置测量的浓度值，该方法包括：获取标准液；对标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值；采用当前浓度系数对第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值；利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将浓度测量装置的当前浓度系数更新为新的浓度系数；其中，标准浓度值是标准液的标准浓度值。通过上述方式，浓度测量装置能够自动的对自身的浓度系数进行校正，以在测量浓度值时，能够测量的更加准确。

附图说明

图1是本发明提供的浓度测量装置的浓度系数自校正方法一实施例的流程示意图；

图2是本发明提供的浓度测量装置一实施例的结构示意图；

图3是本发明提供的浓度测量装置另一实施例的结构示意图；

图4是本发明提供的浓度测量装置又一实施例的结构示意图；

图5是本发明提供的蚀刻装置一实施例的结构示意图。

具体实施方式

参阅图1，图1是本发明提供的浓度测量装置的浓度系数自校正方法一实施例的流程示意图，该方法包括：