[发明专利]一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置

权利要求书

1.一种蚀刻液的浓度测量装置的浓度系数自校正方法，所述浓度系数用于修正所述浓度测量装置测量的浓度值，其特征在于，包括：

S11、处理器控制第一容器与第二容器之间的管道上的控制阀开启，使所述第二容器中容置的标准液流入所述第一容器，以获取所述蚀刻液的标准液，其中，所述蚀刻液包含多种溶质；

S12、采用滴定的方式在所述第一容器中对所述标准液的浓度进行测量，实时监测所述标准液的ph值，以得到所述多种溶质各自的第一浓度值；

S13、采用所述多种溶质各自的当前浓度系数对相应的所述第一浓度值进行修正，以得到各自的第二浓度值；

S14、利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将所述浓度测量装置的当前浓度系数更新为所述新的浓度系数；

其中，所述标准浓度值是所述标准液的标准浓度值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述获取标准液，具体为：

至少两次获取所述标准液；

所述对所述标准液的浓度进行测量，以得到第一浓度值，具体为：

分别对至少两次获取的标准液的浓度进行测量，以得到至少两个第一浓度值；

所述采用当前浓度系数对所述第一浓度值进行修正，以得到第二浓度值，包括：

分别采用当前浓度系数对所述至少两个第一浓度值进行修正，得到至少两个修正结果，并将至少两个修正结果的平均值作为所述第二浓度值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

周期性的重复执行所述步骤S11至S14，以周期性的更新所述浓度测量装置的当前浓度系数。

4.一种蚀刻液的浓度测量装置，其特征在于，包括：

第一容器，用于获取所述蚀刻液的标准液；其中，所述蚀刻液包含多种溶质；

第二容器，所述第二容器通过第一管道连通所述第一容器，通过第二管道连通大气；其中，所述第一管道上设置有第一控制阀，所述第二管道上设置有第二控制阀；

测量器，用于在滴定的过程中对所述标准液的浓度进行测量，实时检测所述标准液的PH值，以得到所述多种溶质各自的第一浓度值；以及采用所述多种溶质各自的当前浓度系数对相应的所述第一浓度值进行修正，以得到各自的第二浓度值；

处理器，用于控制所述第一控制阀开启，以使得所述第二容器中容置的标准液流入所述第一容器，还用于利用以下公式计算得到新的浓度系数，并自动将所述浓度测量装置的当前浓度系数更新为所述新的浓度系数；

其中，所述标准浓度值是所述标准液的标准浓度值。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，

所述处理器还用于至少两次控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的开启，以使所述标准液至少两次流入所述第一容器；

所述测量器还用于分别对至少两次获取的标准液的浓度进行测量，以得到至少两个第一浓度值；以及

分别采用当前浓度系数对所述至少两个第一浓度值进行修正，得到至少两个修正结果，并将至少两个修正结果的平均值作为所述第二浓度值。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，

所述处理器还用于周期性的控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的开启；以及

周期性的计算新的浓度系数，并自动将所述浓度测量装置的当前浓度系数更新为所述新的浓度系数。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，

所述第一容器还通过第三管道连通第一滴定管，所述第一滴定管通过第四管道连通第三容器；

所述第三容器用于容置反应液溶液，所述第一滴定管用于将所述反应液溶液吸入所述第一滴定管，并采用滴定的方式将所述反应液滴入所述第一容器中，以使所述标准液和所述反应液进行化学反应从而检测所述第一容器中的标准液的浓度。