[发明专利]电感悬臂梁无线无源加速度传感器

权利要求书

1.一种电感悬臂梁无线无源加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感悬臂梁结构(5)和质量块(6)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述质量块(6)设置在所述电感悬臂梁(5)内圈的上方。

2.根据权利要求1所述的电感悬臂梁无线无源加速度传感器，其特征在于：所述质量块(6)采用高密度材料，具有较大的惯性。

3.根据权利要求2所述的电感悬臂梁无线无源加速度传感器，其特征在于：所述高密度材料为铂、金。

4.根据权利要求1所述的电感悬臂梁无线无源加速度传感器，其特征在于：所述电感结构(3)为平面螺旋结构。

5.根据权利要求1所述的电感悬臂梁无线无源加速度传感器，其特征在于：所述电感悬臂梁结构(5)为平面螺旋结构。

6.根据权利要求1、4或5所述的电感悬臂梁无线无源加速度传感器，其特征在于：所述电感悬臂梁结构(5)和所述电感结构(3)是上下正对放置。