[发明专利]一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体

说明书

本发明公开了一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，包括内外嵌套设置的内槽体及外槽体、与外槽体连接并延伸至内槽体上端的导液装置、固定在内槽体上的进液装置及设置在外槽体下端的冷却装置；所述导液装置包括导液管及设置在导液管上的阀门；所述进液装置固定在内槽体靠近连接软管的一侧内壁上端，包括积液盒及设置在积液盒下端的若干螺旋导流片；所述冷却装置包括冷冻机及与冷冻机相连的冷却水管。本发明设置了内外嵌套配合的内槽体及外槽体，内槽体在与硅片反应后会吸收大量热量，因此通过内槽体与外槽体内液体的循环实现药液温度的降低，整体结构设计合理，且空间占用率小。

技术领域

本发明涉及一种硅片制备用槽体，特别是涉及一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体。

背景技术

光伏发电技术作为环保可再生能源技术近年得到了飞速的发展，但如何进一步提升电池的转换效率以及降低电池生产成本成为行业发展面临的主要问题。随着金刚线切割技术的成熟，金刚线切硅片得以推向市场，金刚线切割硅片相较传统砂浆线切割硅片成本降低很多，但传统制绒工艺无法在金刚线切割硅片表面制备具有陷光效果的绒面，黑硅技术通过在硅片表面制备微纳米尺寸的孔洞结构，增加了对光的吸收。

但是在对硅片表面进行扩孔处理时，对药液的均匀性及反应温度有极高要求，现有技术中槽体结构设计简单，很难满足硅片加工所需条件，或者在满足调节的情况下，空间占用率大，因此本发明研制一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，以解决现有技术中存在的问题，经检索，未发现与本发明相同或相似的技术方案。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，以解决现有技术中结构占用空间大、药液冷却效果差且药液分散不均匀的问题。

为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：包括内外嵌套设置的内槽体及外槽体、与外槽体连接并延伸至内槽体上端的导液装置、固定在内槽体上的进液装置及设置在外槽体下端的冷却装置；

所述外槽体一对平行的外侧壁上分别固定一气缸；所述内槽体上端侧壁处分别向外延伸一支撑在气缸上端的岸台，一端侧壁下端具有一出液口，所述出液口处贴合设置一两端固定在外槽体内壁上的挡板；

所述导液装置包括导液管及设置在导液管上的阀门，所述导液管下端与外槽体侧壁下端连接，上端沿水平方向设置在内槽体上端，并偏离内槽体侧壁设置，呈水平状的导液管下端面上沿中轴线方向均布若干连接软管；

所述进液装置固定在内槽体靠近连接软管的一侧内壁上端，包括积液盒及设置在积液盒下端的若干螺旋导流片；所述积液盒侧壁与连接软管端部固定连接，并与连接软管相连通，下端面上具有若干导液孔；所述螺旋导流片设置在导液孔下端，并与一铰接在积液盒上端的转轴固定连接；

所述冷却装置包括冷冻机及与冷冻机相连的冷却水管，所述冷却水管设置在外槽体内侧下端，两端部贯穿外槽体与冷冻机相连。

进一步的，所述岸台内部具有一呈圆弧形设置的导向槽，所述导向槽下端具有一与导向槽相连通的空腔，所述空腔内壁呈圆弧形；所述气缸上端连接一固定块及与固定块连接并嵌套设置在导向槽内的滑杆；所述固定块上端面呈圆弧状，并处在空腔内。

进一步的，所述空腔的内径大于所述固定块的外径。

进一步的，所述出液口沿内槽体的短轴方向设置，并呈长条形结构。

进一步的，所述冷却水管沿水平方向呈一体结构的S型依次设置，且共设置两层。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列有益效果：

（1）本发明设置了内外嵌套配合的内槽体及外槽体，内槽体在与硅片反应后会吸收大量热量，因此通过内槽体与外槽体内液体的循环实现药液温度的降低，整体结构设计合理，且空间占用率小；