[发明专利]一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体

权利要求书

1.一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：包括内外嵌套设置的内槽体及外槽体、与外槽体连接并延伸至内槽体上端的导液装置、固定在内槽体上的进液装置及设置在外槽体下端的冷却装置；

所述外槽体一对平行的外侧壁上分别固定一气缸；所述内槽体上端侧壁处分别向外延伸一支撑在气缸上端的岸台，内槽体一端侧壁下端具有一出液口，所述出液口处贴合设置一两端固定在外槽体内壁上的挡板；

所述导液装置包括导液管及设置在导液管上的阀门，所述导液管下端与外槽体侧壁下端连接，上端沿水平方向设置在内槽体上端，并偏离内槽体侧壁设置，呈水平状的导液管下端面上沿中轴线方向均布若干连接软管；

所述进液装置固定在内槽体靠近连接软管的一侧内壁上端，包括积液盒及设置在积液盒下端的若干螺旋导流片；所述积液盒侧壁与连接软管端部固定连接，并与连接软管相连通，积液盒下端面上具有若干导液孔；所述螺旋导流片设置在导液孔下端，并与一铰接在积液盒上端的转轴固定连接；

所述冷却装置包括冷冻机及与冷冻机相连的冷却水管，所述冷却水管设置在外槽体内侧下端，两端部贯穿外槽体与冷冻机相连。

2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：所述岸台内部具有一呈圆弧形设置的导向槽，所述导向槽下端具有一与导向槽相连通的空腔，所述空腔内壁呈圆弧形；所述气缸上端连接一固定块及与固定块连接并嵌套设置在导向槽内的滑杆；所述固定块上端面呈圆弧状，并处在空腔内。

3.根据权利要求2所述的一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：所述空腔的内径大于所述固定块的外径。

4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：所述出液口沿内槽体的短轴方向设置，并呈长条形结构。

5.根据权利要求1所述的一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体，其特征在于：所述冷却水管沿水平方向呈一体结构的S型依次设置，且共设置两层。