[发明专利]滤光片检测装置及方法

权利要求书

1.一种滤光片检测装置，应用于对滤光片中的异常剥离膜层的检测，其特征在于，包括测量装置与数据处理装置；

所述测量装置与所述数据处理装置电连接以便所述数据处理装置接收并处理所述测量装置采集的数据；所述测量装置包括相对设置的第一电极板和第二电极板，所述第一电极板和第二电极板内皆设有多个金属探针，所述第一电极板内的金属探针与所述第二电极板内的金属探针相互配合，用于采集待测滤光片厚度的实测值D₂；

所述数据处理装置内存储有所述第一电极板内的各金属探针和所述第二电极板内的各金属探针的预设坐标值；所述数据处理装置用于获取并记录待测滤光片厚度的实测值D₂，计算并确定待测滤光片不计入某一膜层的厚度时该滤光片的厚度D₂’，计算D₂与D₂’的差值，依次确定每次不计入不同单一膜层的厚度时待测滤光片的厚度D₂’及D₂与D₂’的差值，通过对比判断不计入不同单一膜层厚度时D₂与各D₂’的差值，以确定该差值为最小时所对应的未计入的膜层为异常剥离膜层。

2.根据权利要求1所述的滤光片检测装置，其特征在于，所述测量装置还包括电源、绝缘壳体、第一平台和第二平台，所述第一平台设于所述绝缘壳体底端内侧面，所述第二平台设于所述绝缘壳体顶端内侧面；所述第一电极板和第二电极板设于所述第一平台与第二平台之间，所述第一电极板紧贴所述第一平台，所述第二电极板紧贴所述第二平台；所述第一平台和第二平台分别与所述电源正负极连接。

3.根据权利要求1所述的滤光片检测装置，其特征在于，所述第一电极板和第二电极板中的所有金属探针皆以行列形式排列，同一电极板内相同行或相同列中任意两相邻所述金属探针之间等间距设置。

4.根据权利要求1所述的滤光片检测装置，其特征在于，所述第一电极板的表面和第二电极板的表面皆设有保护层。

5.一种滤光片检测方法，其特征在于，运用于权利要求1-4中任意一项所述的滤光片检测装置，包括如下步骤：

S1：所述数据处理装置获取并记录待测滤光片厚度的实测值D₂；

S2：所述数据处理装置计算并确定待测滤光片不计入某一膜层的厚度时该滤光片的厚度D₂’；

S3：所述数据处理装置计算D₂与D₂’的差值；

S4：依次重复步骤S2和S3，确定每次不计入不同单一膜层的厚度时待测滤光片的厚度D₂’及D₂与D₂’的差值；

S5：对比判断不计入不同单一膜层厚度时D₂与各D₂’的差值，以确定该差值为最小时所对应的未计入的膜层为异常剥离膜层。

6.根据权利要求5所述的滤光片检测方法，其特征在于，还包括如下具体步骤：

所述数据处理装置计算所述异常剥离膜层中各点对应于所述第一电极板和第二电极板之间的电容值，确定该膜层中发生异常剥离的具体位置。

7.根据权利要求5所述的滤光片检测方法，其特征在于，所述数据处理装置计算并确定D₂’的原理公式为：

D₂’＝ε’ε₀s/(C-ε₀²s/D₁)；

其中，ε’为待测滤光片不计入某一膜层的介电常数时该滤光片的介电常数，ε₀为真空介电常数，C为所述第一电极板和第二电极板之间的正常电容值，s为所述金属探针的截面积，D₁为所述第二电极板与待测滤光片上靠近所述第二电极板的端面之间的距离。