[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示装置

权利要求书

1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：第一极、第二极、有源层、栅极以及栅绝缘层；

所述第一极包括条形臂和与所述条形臂相连的连接臂，所述第二极包括条形臂；所述条形臂沿第一方向排列，所述第一方向垂直于所述条形臂的延伸方向；

其中，所述第一极的连接臂在所述栅极上的投影与所述栅极无重叠区域，所述第一极的两个所述条形臂与所述连接臂靠近的部分在所述栅极上的投影与所述栅极无重叠，且该连接臂与所述第二极的所述条形臂之间的区域为第一区域，所述有源层在所述第一区域的部分至少部分镂空。

2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一极包括两个所述条形臂和一个所述连接臂，所述连接臂与两个所述条形臂的端部相连接组成U型结构；

所述第二极包括一个所述条形臂，且所述条形臂位于所述U型结构的开口内。

3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一极包括一个所述连接臂和一个所述条形臂，所述连接臂和所述条形臂相连组成L型结构；

所述第二极包括一个所述条形臂，所述条形臂位于所述L型结构的开口内。

4.根据权利要求1-2任一项所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述第二极条形臂的个数少于所述第一极条形臂的个数；

所述第二极为信号输入电极。

5.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：第一极、第二极、有源层、栅极以及栅绝缘层；

所述第一极包括条形臂和与所述条形臂相连的连接臂，所述第二极包括条形臂；所述条形臂沿第一方向排列，所述第一方向垂直于所述条形臂的延伸方向；

其中，所述第二极条形臂的个数少于所述第一极条形臂的个数或者所述第二极不包括所述连接臂，所述第二极为信号输入电极；

所述第一极的连接臂在所述栅极上的投影与所述栅极无重叠区域，所述第一极的两个所述条形臂与所述连接臂靠近的部分在所述栅极上的投影与所述栅极无重叠，且该连接臂与所述第二极的所述条形臂之间的区域为第一区域，所述有源层在所述第一区域的部分至少部分镂空。

6.根据权利要求5所述的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一极包括两个所述条形臂和一个所述连接臂，所述连接臂与两个所述条形臂的端部相连接组成U型结构；

所述第二极包括一个所述条形臂，所述条形臂位于所述U型结构的开口内。

7.一种阵列基板，其特征在于，包括多个如权利要求1-3任一项所述的薄膜晶体管。

8.根据权利要求7所述的阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管的第一极通过过孔与像素电极电连接，第二极与数据线电连接；

或者，所述薄膜晶体管的所述第二极通过过孔与所述像素电极电连接，所述第一极与数据线电连接。

9.一种阵列基板，其特征在于，包括多个如权利要求5-6任一项所述的薄膜晶体管。

10.根据权利要求9所述的阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管的第一极通过过孔与像素电极电连接，第二极与数据线电连接。

11.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求7-10任一项所述的阵列基板。

12.一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项的薄膜晶体管：

在衬底基板上形成栅极、栅绝缘层、有源层、第一极以及第二极；所述第一极包括条形臂和与所述条形臂相连的连接臂，所述第二极包括条形臂；所述条形臂沿第一方向依次排列，所述第一方向垂直于所述条形臂的延伸方向；其中，所述第一极的连接臂在所述栅极上的投影与所述栅极无重叠区域，所述第一极的两个所述条形臂与所述连接臂靠近的部分在所述栅极上的投影与所述栅极无重叠，且该连接臂与所述第二极的所述条形臂之间的区域为第一区域，所述有源层中与所述第一区域正对的部分至少部分镂空。