[发明专利]一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法

说明书

本发明公开了一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法，属于芯片测试技术领域。本发明的霍尔线圈包括工字形支架及包覆在工字形支架中间部分的漆包线卷，工字形支架一端为环台，环台中心处为圆形凹槽；圆形凹槽的中心处为圆形通孔。霍尔产品测试线圈装置包括霍尔线圈、项圈、基座和霍尔测试片；基座为圆环形，嵌入圆形凹槽内，基座中间为方形的项圈定位孔，项圈嵌入项圈定位孔内；霍尔测试片固定于基座的上表面，形成霍尔测试片和霍尔活动夹的定位及固定装置，以保证待测产品在稳定的磁场内有稳定的测试平台。本发明解决了芯片测试过程中，霍尔线圈在测试区的磁场不够稳定、测得的高斯量最大与最小之差值很大的问题。

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法。

背景技术

目前，在半导体集成电路制造工艺中，需要对切割封装后的成品芯片进行进一步测试，测试过程中，霍尔线圈起到提供磁场的作用。

如图2所示，原普通的霍尔线圈在测试区无法产生稳定的磁场，产品参数在设定的范围内容易跳边，这是由于产品在测试时因线圈结构的原因只能在线圈上方3mm(板厚3mm)处测试，当调整吸嘴行程时，吸嘴下的产品便会在线圈外围磁场上下动作，而线圈外围磁场是极其不稳定的，离线圈越近磁场就越大，故产品测得的高斯量最大与最小之差值很大。

经检索，中国专利申请，申请号：201510949562.5，公开日：2016.05.04，公开了一种霍尔巴赫磁体匀场线圈及其设计方法，具体针对霍尔巴赫磁体的结构特点和主磁场方向，根据磁场结构特征对电流密度函数进行灵活设计，然后利用比奥萨瓦特定律推导出电流密度与主磁场之间的关系，从而反演出电流分布函数，同时考虑匀场线圈对功率损耗函数，线性度等参数的要求，对线圈结构进行优化。该发明对霍尔巴赫磁体给出两种结构的线圈结果，在结构复杂度和性能方面各有利弊，可根据实际需求灵活进行选择。该发明理论性强，应用于成品芯片的测试时，还需要进行相应的数据转化和具体的结构设计。

发明内容

1.发明要解决的技术问题

针对现有技术中成品芯片测试过程中，霍尔线圈在测试区的磁场不够稳定、测得的高斯量最大与最小之差值很大的问题，本发明提供了一种霍尔线圈和基于霍尔线圈的霍尔产品测试线圈装置及测试方法。它通过在霍尔线圈的一端巧妙设计容纳霍尔测试片的沉孔，达到提供稳定磁场的目的。

2.技术方案

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：

一种霍尔线圈，包括工字形支架及包覆在工字形支架中间部分的漆包线卷，所述工字形支架一端为环台，环台中心处为圆形凹槽；所述圆形凹槽的中心处为圆形通孔。将待测产品置入圆形凹槽内进行检测，检测时，受到的外界干扰减少，并提供了稳定的磁场。

进一步的技术方案，圆形凹槽的深度不小于基座、测试片和待测产品的厚度之和，以保证待测产品不会凸出于圆形凹槽之外，进而保证测试磁场的稳定性。

进一步的技术方案，环台上，由圆形凹槽向外开有两个左右对称的开槽，提供了待测产品的进出通道。

进一步的技术方案，漆包线卷的两端和环台直接接触(无需垫片)，避免不必要的磁场干扰因素，漆包线卷的周边外露，以提高磁场的效率。

一种霍尔产品测试线圈装置，包括霍尔线圈、项圈、基座和霍尔测试片；所述基座为圆环形，嵌入圆形凹槽内，基座中间为方形的项圈定位孔，项圈嵌入项圈定位孔内；所述霍尔测试片固定于基座的上表面，形成霍尔测试片和霍尔活动夹的定位及固定装置，以保证待测产品在稳定的磁场内有稳定的测试平台。