[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示装置

权利要求书

1.一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括衬底基板、金属图案层、数据线图案层及扫描线图案层；

其中，所述金属图案层设置于所述衬底基板上，所述数据线图案层与所述金属图案层异层设置且与所述金属图案层电连接或所述扫描线图案层与所述金属图案层异层设置且与所述金属图案层电连接。

2.根据权利要求1所述的基板，其特征在于，所述衬底基板上设有遮光层，所述金属图案层与所述遮光层同层间隔设置且通过同一道光刻工艺形成。

3.根据权利要求2所述的基板，其特征在于，所述衬底基板上设有覆盖所述金属图案层的缓冲层，所述缓冲层上设有依次层叠的有源层、第一绝缘层及栅极图案层，所述扫描线图案层与所述栅极图案层通过同一道光刻工艺形成。

4.根据权利要求3所述的基板，其特征在于，所述缓冲层设有贯穿所述缓冲层且连通所述金属图案层的第一过孔，所述扫描线图案层通过所述第一过孔与所述金属图案层电连接。

5.根据权利要求4所述的基板，其特征在于，所述缓冲层上还设有与所述有源层间隔设置且通过同一道光刻工艺形成的第一导电层，所述第一导电层通过所述第一过孔与所述金属图案层电连接，所述扫描线图案层设置于所述第一导电层上。

6.根据权利要求2所述的基板，其特征在于，所述阵列基板进一步包括第二绝缘层以及设置于所述第二绝缘层上的源极图案层和漏极图案层，所述数据线图案层设置于所述第二绝缘层上且与所述源极图案层和漏极图案层通过同一道光刻工艺形成，所述第二绝缘层设有贯穿所述第二绝缘层且与所述金属图案层连通的第二过孔，所述数据线图案层通过所述第二过孔与所述金属图案层电连接。

7.根据权利要求6所述的基板，其特征在于，所述衬底基板上还设有覆盖所述金属图案层的缓冲层，所述第二绝缘层设置于所述缓冲层上，所述缓冲层设有贯穿所述缓冲层且与所述金属图案层连通的第三过孔，所述第三过孔与所述第二过孔连通，以使得所述数据线图案层通过所述第三过孔与所述第二过孔与所述金属图案层电连接。

8.根据权利要求7所述的基板，其特征在于，所述缓冲层上设有有源层及第二导电层，所述第二导电层与所述有源层间隔设置且通过同一道光刻工艺形成，所述第二导电层位于所述第二过孔和所述第三过孔之间，以使得所述数据线图案层通过所述第二导电层与所述金属图案层电连接。

9.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如权利要求1～8任一项所述的阵列基板。

10.一种阵列基板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在衬底基板上沉积金属以形成间隔设置的金属图案层与遮光层；

形成覆盖所述金属图案层的缓冲层并开设贯穿所述缓冲层且连通所述金属图案层的第一过孔；

在所述缓冲层依次形成层叠设置的有源层及第一绝缘层；

通过同一道光刻工艺分别在所述第一绝缘层与所述缓冲层上形成栅极图案层和扫描线图案层，所述扫描线图案层通过所述第一过孔与所述金属图案层电连接；

在所述缓冲层上形成第二绝缘层；

在所述第二绝缘层上形成源极图案层、漏极图案层和数据线图案层。