[发明专利]用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置

权利要求书

1.一种用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置(10)，包括真空腔室(12)，所述真空腔室包含蒸发源(14)和用于保持多个基材的基材保持件(16)，所述基材保持件(16)形成为面对所述蒸发源(14)设置的圆顶件，所述圆顶件能通过圆顶件转动驱动件(18)绕穿过所述蒸发源(14)的转动轴线(R)转动，以使得由所述基材保持件(16)所保持的基材能在围绕所述转动轴线(R)且具有相对于蒸发源的相应恒定距离的圆形路径上运动，其中，遮掩组合件(20)位于所述真空腔室(12)中所述蒸发源(14)与所述基材保持件(16)之间，用于相对于所述蒸发源(14)部分地遮蔽由所述基材保持件(16)所保持的基材，其特征在于，所述遮掩组合件(20)包括静止于所述真空腔室(12)中的固定遮掩部分(22)，且包括多个渐变扇区部分(24、26、28)，所述渐变扇区部分各自承载分配至由所述基材保持件(16)所保持的基材的渐变遮护件(30)，用于形成渐变遮掩件，其中，所述渐变扇区部分(24、26、28)能绕所述转动轴线(R)在渐变遮掩件打开位置与渐变遮掩件关闭位置之间转动，在所述渐变遮掩件打开位置中，所述渐变扇区部分(24、26、28)储存在所述固定遮掩部分(22)后面，在所述渐变遮掩件关闭位置中，所述渐变扇区部分(24、26、28)在所述蒸发源(14)与所述基材保持件(16)之间像扇子一样展开。

2.根据权利要求1所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，所述遮掩组合件(20)包括三个渐变扇区部分(24、26、28)，三个所述渐变扇区部分具有相同的尺寸和形状且能够以叠置布置储存在所述固定遮掩部分(22)后面。

3.根据权利要求1所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，所述渐变扇区部分(24、26、28)通过与所述转动轴线(R)对齐的共用中心轴(98)旋转安装在所述真空腔室(12)中。

4.根据权利要求3所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，所述渐变扇区部分中的第一渐变扇区部分(24)被连接成与所述中心轴(98)一起转动，而其他渐变扇区部分(26、28)则安装在所述中心轴(98)上而能相对于所述中心轴(98)枢转，所述其他渐变扇区部分(26、28)还适于在所述第一渐变扇区部分与所述中心轴(98)一起转动后依次被所述第一渐变扇区部分(24)一起带动，从而根据所述中心轴(98)的转动方向关闭或打开所述渐变遮掩件。

5.根据权利要求4所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，在各种情形中，相邻的渐变扇区部分(24；26；28)包括协配的驱动突出部(146；148、150；152；154、156)，这些驱动突出部被布置成在所述中心轴(98)转动时依次与彼此接合。

6.根据权利要求4所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，所述其他渐变扇区部分(26；28)中的每个分别设置有根据所述中心轴(98)的转动方向而限定相应的渐变扇区部分(26；28)的打开位置和关闭位置的两个抵靠肩部(158、160；162、164)。

7.根据权利要求5所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，所述其他渐变扇区部分(26；28)中的每个分别设置有根据所述中心轴(98)的转动方向而限定相应的渐变扇区部分(26；28)的打开位置和关闭位置的两个抵靠肩部(158、160；162、164)。

8.根据权利要求6所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，仅设置一个静止止挡销(166)，所述静止止挡销(166)与所述其他渐变扇区部分(26；28)的所述抵靠肩部(158、160；162、164)协配以分别用作为相应的渐变扇区部分(26；28)在打开位置和关闭位置中的止挡件。

9.根据权利要求7所述的盒式涂覆装置(10)，其特征在于，仅设置一个静止止挡销(166)，所述静止止挡销(166)与所述其他渐变扇区部分(26；28)的所述抵靠肩部(158、160；162、164)协配以分别用作为相应的渐变扇区部分(26；28)在打开位置和关闭位置中的止挡件。