[发明专利]气体输送装置

说明书

本案提供一种气体输送装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振板、致动膜、压电元件及出口板依序堆叠设置，共振板与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电元件驱动致动膜时，气体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振板的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制气体的流通。

【技术领域】

本案是关于一种气体输送装置，尤指一种透过微型、薄型且静音的气体输送装置。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦所包含的气体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

随着科技的日新月异，气体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的气体输送装置已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。

于现有技术中，气体输送装置主要以传统的机构部件堆叠而构成，并以每一个机构部件极小化或厚度薄化的方式，来达到整体装置微型化、薄型化的目的。然而，传统机构件在微小化后，其尺寸精度控制不易，且组装精度同样难以掌控，进而造成产品良率不一，甚至有气体传送的流量不稳定等问题。

再者，已知的气体传输装置亦具有输送流量不足的问题，透过单一气体传输装置难以因应大量气体传输的需求，且已知的气体传输装置通常有外凸的导接脚以供通电连接之用，故若欲将多个已知的气体传输装置并排设置以提高传输量，其组装精度同样不易控制，导接脚容易造成设置的障碍，且亦导致其外接的供电线设置复杂，因此仍难以透过此方式提高流量，排列方式亦较无法灵活运用。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用气体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，且克服微型尺寸精度不易掌控、流量不足的问题，且可灵活运用于各式装置的微型气体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【发明内容】

本案的主要目的在于提供一种气体输送装置，借由微机电制程制出一体成型的微型化气体输送装置，以克服传统输送装置无法同时兼具体积小、微型化、尺寸精度掌控以及流量不足的问题。

为达上述目的，本案的一较广义实施样态为提供一种气体输送装置，其由至少一导流单元所构成，该至少一导流单元包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，为面型微加工技术制成的悬浮结构，具有一中空孔洞及多个可动部；一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有多个悬浮部、一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动膜的该悬浮部的一表面；一出口板，具有一出口孔；其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动膜及该出口板是依序对应堆叠设置，该导流单元的该共振板及该致动膜之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动膜及该出口板之间形成一第二腔室，当该导流单元的该压电元件驱动该致动膜时，气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室，并流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以控制气体的流通。

【附图说明】

图1为本案为第一较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。

图2为图1所示的气体输送装置的剖面结构示意图。

图3A为图2所示的气体输送装置的剖面的单一导流单元局部放大结构示意图。

图3B至图3D为图3A所示的气体输送装置的单一导流单元作动流程局部示意图。

图4为本案为第二较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。

图5为本案为第三较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。