[发明专利]气体输送装置

权利要求书

1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:

多个导流单元，为微机电系统制程一体成型制成，该导流单元，分别包含：一入口板，具有至少一入口孔；

一基材，该基材与该至少一入口孔相对设置；

一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；

一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；

一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及

一出口板，具有一出口孔；以及

至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔的至少其中之一；

其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该至少一阀开启，让气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室而流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借由一特定排列方式设置该多个导流单元以传输气体。

2.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该特定排列方式为一行串接排列。

3.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该特定排列方式为一列串接排列。

4.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该特定排列方式为环状方式排列。

5.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，特定排列方式为蜂巢状方式排列。

6.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该阀片的该通气孔位置为相互对准，以及该密封件上设有至少一个通气孔，且与该保持件的该通气孔位置为形成错位不对准。

7.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含由石墨烯材制成的一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该阀片的该通气孔位置为相互对准，以及该密封件上设有至少一个通气孔，且与该保持件的该通气孔位置为形成错位不对准。

8.如权利要求6或7所述的气体输送装置，其特征在于，该阀片为一带电荷的材料，而该保持件为一两极性的导电材料，由一控制电路控制其极性，当该阀片与该保持件维持不同极性时，该阀片朝该保持件靠近，构成该阀的开启；当该阀片与该保持件维持相同极性时，该阀片朝该密封件靠近，构成该阀的关闭。

9.如权利要求6或7所述的气体输送装置，其特征在于，该阀片为一带磁性的材料，而该保持件为一可受控变换极性的磁性材料，由一控制电路控制其极性，当该阀片与该保持件维持不同极性时，该阀片朝该保持件靠近，构成该阀的开启；当该阀片与该保持件维持相同极性时，该阀片朝该密封件，靠近构成该阀的关闭。

10.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含一保持件、一密封件及一柔性膜，其中该保持件与该密封件之间保持有一容置空间，以及该柔性膜贴附于该保持件一表面上，并设置位于该容置空间内，又该保持件上具有至少两个通气孔，而该柔性膜对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该柔性膜的该通气孔位置为相互对准，以及该密封件上设有至少一个通气孔，且与该保持件的该通气孔位置为形成错位不对准。