[发明专利]膜状工件吸附装置

说明书

本发明提供一种膜状工件吸附装置，其在利用负压吸附了膜状的工件的情况下，能够在工件上不产生挠曲、褶皱、变形等。一种膜状工件吸附装置(10)，将具备朝下的开口(21)的吸引箱(20)的内侧分割成多个部分而构成各自形成分割吸附空间的多个分割吸附部(24)和其下端的分割吸附面(25)，设置以较弱的吸引力将膜状工件(13)吸引于各分割吸附部(24)的吸气风扇(26)和分别独立地控制这些吸气风扇(26)的控制装置(30)，在吸气风扇(26)接通时，通过在各分割吸附面(25)的吸附区域(12)内同时均匀地吸附膜状工件(13)，在所吸附的膜状工件(13)不引起挠曲、褶皱、变形等。

技术领域

本发明涉及膜状有机EL等的膜状工件吸附装置。

背景技术

在专利文献1中公开了一种在陶瓷生片的层叠工序等中利用吸附板真空吸附生片并进行层叠的片材吸附板。另外，在专利文献2中公开了一种膜状零部件用吸附头。

专利文献1所记载的技术方案提供一种片材吸附板，该片材吸附板具有许多直径较小的吸引孔，并且，吸引孔的大小较为均匀，可获得均匀的吸附。该片材吸附板的特征在于，具备：第1板，在该第1板，以预定节距分散形成有从表面贯通到背面的许多吸引孔；以及第2板，其在表面的周围具有框部，在框部的内侧形成有与吸引孔连通的格子状的通气槽，且在通气槽的底部形成有通向背面的多个通气孔，通气孔与真空源连接。

这样的片材吸附板存在如下的问题：为了应对各种工件形状、工件的配置，必须准备多个种类的片材吸附板。

另外，在是非常薄的膜状的工件、且该工件较大的情况下，难以均匀地进行吸附，其结果，存在如下问题：在吸附之后，膜状工件会产生挠曲、褶皱、变形等。另外，在较小的膜状工件排列在托盘上、对该膜状工件进行吸附的情况下，也存在如下问题：在无法进行均匀的吸附时，若在膜状工件与相邻的膜状工件之间产生吸附的时间差、吸附力之差，则会导致膜状工件的姿势产生紊乱，由此膜状工件也会产生挠曲、褶皱、变形等。

专利文献2所记载的吸附头在通过吸附膜状的零部件来进行处理之际使用，吸附头在所吸附的工件在进行吸附之际所接触的部分具有开口，该开口由多个大致相同尺寸、大致相同形状的孔构成。

因而，在一个吸附头配置有用于吸附工件的多个开口，且这多个开口与一个负压源连接。而且，在这多个开口之间存在未设置吸引孔的部分。

因此，存在如下问题：在吸附非常薄的膜状工件之际，产生被开口吸附的部分和位于这些开口之间的未被吸附的部分，这使得易于引起挠曲、褶皱、变形。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-267986号公报

专利文献2：日本特开平6-40596号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的课题在于提供一种在利用负压吸附了膜状的工件的情况下、能够在工件上不产生挠曲、褶皱、变形等的膜状工件吸附装置。

用于解决问题的方案