[发明专利]膜状工件吸附装置

权利要求书

1.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，

该膜状工件吸附装置具有：

蚀刻板；

吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；

n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；

1台吸气风扇，其通过在所述分割吸附部的背后的所述上底部吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；

控制装置，其用于控制所述吸气风扇；以及

连通孔，其设置于对所述吸引箱的内侧空间和所述开口进行分隔的所述分隔板，将沿着所述长度方向相邻的所述分割吸附部之间连通。

2.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，

该膜状工件吸附装置具有：

蚀刻板；

吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；

n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；

n台吸气风扇，其在这些分割吸附部各自的背后的所述上底部各设置有1台，通过吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；以及

控制装置，其用于分别独立地控制所述多个吸气风扇，

所述吸气风扇设为利用1台吸引源吸附所述膜状工件的情况下的吸引源的吸附力的1/n的吸附力。

3.根据权利要求2所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

沿所述吸引箱的长度方向相邻的至少3个所述分割吸附面设为连续的朝上凸起的弯曲面，使得长度方向中央部的所述分割吸附面比位于其两侧部的所述分割吸附面接近所述吸气风扇那一侧，从所述上底部算起的距离变浅。

4.根据权利要求3所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

所述控制装置构成为，控制所述吸气风扇而使所述中央部的吸气风扇比所述两侧部的吸气风扇先吸引所述膜状工件。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

所述分割吸附面构成为，设为与排列于托盘上的多张所述膜状工件相应的大小和形状，同时吸引该多张所述膜状工件。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

该膜状工件吸附装置具有1张遮盖片材，将所述蚀刻板夹在该遮盖片材与所述分割吸附面之间，该遮盖片材与该蚀刻板一起固定于所述多个分割吸附部而进行配置，

所述遮盖片材是具有在与所述蚀刻板一起固定到所述分割吸附面的状态下成为所述n个分割吸附部的周壁的框的框构造，框内成为贯通孔。

7.根据权利要求5所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

该膜状工件吸附装置具有1张遮盖片材，将所述蚀刻板夹在该遮盖片材与所述分割吸附面之间，该遮盖片材与该蚀刻板一起固定于所述多个分割吸附部而进行配置，

所述遮盖片材是具有在与所述蚀刻板一起固定到所述分割吸附面的状态下成为所述n个分割吸附部的周壁的框的框构造，框内成为贯通孔。

8.根据权利要求6所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

所述分割吸附面和所述遮盖片材都由导电性材料形成。

9.根据权利要求7所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，

所述分割吸附面和所述遮盖片材都由导电性材料形成。