[发明专利]容器容纳设备

说明书

本发明提供一种容器容纳设备，其在容纳容器（W）的多个容纳部的每一个中，向容器（W）的内部供给净化气体，所述容器容纳设备具备：排放部（2），排放净化气体；气体供给装置（3），控制净化气体的供给流量；主配管（4），供从气体供给装置（3）输出的净化气体流通；分支配管（5），从主配管（4）分支，与各排放部（2）连接；排放部（2）不论在容纳部中是否容纳有容器（W），都排放净化气体；气体供给装置（3）控制净化气体的供给流量，以使得容纳在容纳部中的容器（W）的总数越少则净化气体的供给流量越多。

技术领域

本发明涉及具有容纳容器的多个容纳部并在各个容纳部中向被容纳的容器的内部供给净化气体的容器容纳设备。

背景技术

在国际公开WO2015/194255号中，公开了一种具备将容器的内部用惰性气体或清洁干燥空气等净化气体（purge gas）净化的机构的容纳设备（净化储料器（1））（在背景技术的说明中，括弧内的附图标记是现有技术文献的附图标记）。在净化储料器（1）中，设有将容器（F）的内部用净化气体进行净化处理的净化装置（30）。净化装置（30）具备多个载置部（31）、连接在各载置部（31）上的多个供给管（33）、供多个供给管（33）连接的主管（41）、和调整主管（41）中的净化气体的流量的质量流控制器（43）（［0029］，图1等）。

在上述那样的容纳设备中，并非始终在全部的多个载置部（31）上载置有容器（F），所以在上述净化装置（30）中，根据载置部（31）的使用率来调整净化气体的流量。在上述净化装置（30）中，在以目标供给流量（TF）向容器（F）供给净化气体时，质量流控制器（43）调整流量，以使得流量为将载置的容器（F）的数量（N）乘以目标供给流量（TF）（=TF×N）（［0034］～［0037］）。即，以作为净化气体的供给目标的容器（F）的数量越多则流量越多的方式进行调整。

可是，在载置部（31）上没有载置容器（F）的情况下，净化气体从该载置部（31）中的供给管（33）漏出。质量流控制器（43）以载置的容器（F）的数量（N）越多则流量越多的方式调整流量（=TF×N）。但是，由于从没有载置容器（F）的供给管（33）以没有容器（F）的阻力的状态排放净化空气，所以相对较多的净化气体从该供给管（33）流出。其结果是，可以想到向载置在载置部（31）上的容器（F）的供给流量低于目标供给流量（TF），不能向容器（F）充分地供给净化空气。例如，如在现有技术文献中例示那样，能够通过在供给管（33）中具备开闭阀（39），来抑制净化空气向空着的载置部（31）的流出（［0045］～［0046］，图4等）。但是，如果在各个供给管（33）中设置开闭阀（39），则有构造复杂化、装置规模也变大而导致设备成本增大的趋势。

发明内容

鉴于上述背景，希望能够以简单的构造提供一种不论有无容纳容器的多个容纳部中的容器、都能够向容纳在容纳部中的容器的内部稳定地供给净化气体的容器容纳设备。

作为1个技术方案，鉴于上述问题的容器容纳设备具有容纳容器的多个容纳部，在前述容纳部的每一个中，向被容纳的前述容器的内部供给净化气体，该容器容纳设备具备：排放部，在多个前述容纳部的每一个中，与被容纳的各个前述容器连接，向该容器排放前述净化气体；气体供给装置，控制前述净化气体的供给流量；主配管，连接在前述气体供给装置上，供从前述气体供给装置输出的前述净化气体流通；分支配管，从前述主配管分支，与各个前述排放部连接；前述排放部不论在前述容纳部中是否容纳有前述容器，都排放前述净化气体；前述气体供给装置取得多个前述容纳部中的前述容器的容纳状态的信息，控制前述净化气体的前述供给流量，以使得容纳在前述容纳部中的前述容器的总数越少则前述净化气体的前述供给流量越多。