[发明专利]容器容纳设备

权利要求书

1.一种容器容纳设备，具有容纳容器的多个容纳部，在各个前述容纳部中，向被容纳的前述容器的内部供给净化气体，所述容器容纳设备的特征在于，

该容器容纳设备具备：

排放部，在多个前述容纳部的每一个中，与被容纳的各个前述容器连接，向该容器排放前述净化气体；

气体供给装置，控制前述净化气体的供给流量；

主配管，连接在前述气体供给装置上，供从前述气体供给装置输出的前述净化气体流通；

分支配管，从前述主配管分支，与各个前述排放部连接；

前述排放部不论在前述容纳部中是否容纳有前述容器，都排放前述净化气体；

前述气体供给装置取得多个前述容纳部中的前述容器的容纳状态的信息，根据容纳在前述容纳部的前述容器的总数来控制前述净化气体的前述供给流量，以使得容纳在前述容纳部中的前述容器的总数越少则前述净化气体的前述供给流量越多。

2.如权利要求1所述的容器容纳设备，其特征在于，

设经由前述分支配管与前述主配管连接的前述排放部的总数为N，

设容纳在前述容纳部中的前述容器的总数为n，

设从前述气体供给装置输出的前述净化气体的基准流量为Fa，

设对从前述气体供给装置输出的前述净化气体的偏移值进行表示的偏移流量为Fb，

设从前述气体供给装置输出的前述净化气体的前述供给流量为FL，

前述气体供给装置控制前述供给流量，以使得

FL＝(N/n)·Fa+Fb。

3.如权利要求1所述的容器容纳设备，其特征在于，

前述排放部连接在前述容器的供气口上；

在各个前述分支配管中，设有流体阻力体，所述流体阻力体具有比流入阻力大的阻力值，所述流入阻力是使前述净化气体从前述供气口向前述容器流入时的阻力成分。

4.如权利要求2所述的容器容纳设备，其特征在于，

前述排放部连接在前述容器的供气口上；

在各个前述分支配管中，设有流体阻力体，所述流体阻力体具有比流入阻力大的阻力值，所述流入阻力是使前述净化气体从前述供气口向前述容器流入时的阻力成分。

5.如权利要求1所述的容器容纳设备，其特征在于，

多个前述容纳部以在沿着铅直方向的方向上观察时重叠的方式在铅直方向上排列配置，前述气体供给装置在沿着铅直方向的方向上观察时不与前述容纳部重叠，在铅直方向上配置在比前述容纳部靠下方的位置。

6.如权利要求2所述的容器容纳设备，其特征在于，

多个前述容纳部以在沿着铅直方向的方向上观察时重叠的方式在铅直方向上排列配置，前述气体供给装置在沿着铅直方向的方向上观察时不与前述容纳部重叠，在铅直方向上配置在比前述容纳部靠下方的位置。

7.如权利要求3所述的容器容纳设备，其特征在于，

多个前述容纳部以在沿着铅直方向的方向上观察时重叠的方式在铅直方向上排列配置，前述气体供给装置在沿着铅直方向的方向上观察时不与前述容纳部重叠，在铅直方向上配置在比前述容纳部靠下方的位置。

8.如权利要求4所述的容器容纳设备，其特征在于，

多个前述容纳部以在沿着铅直方向的方向上观察时重叠的方式在铅直方向上排列配置，前述气体供给装置在沿着铅直方向的方向上观察时不与前述容纳部重叠，在铅直方向上配置在比前述容纳部靠下方的位置。