[发明专利]输送体、输送装置以及划线系统

说明书

本发明涉及输送体、输送装置以及划线系统，其能够以简单的构成顺畅地对工作台的上表面进行清扫。输送体(300)保持基板(10)并从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送该基板(10)。输送体(300)包括第一清扫单元(240)，该第一清扫单元(240)配置于基板(10)的输送方向后方，在从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送基板(10)的工序中，该第一清扫单元(240)与第一工作台(110)的上表面接触，对第一工作台(110)的上表面进行清扫。第一清扫单元(240)包括作为清扫工具的刷(241)，刷(241)边与第一工作台(110)的上表面接触，边进行移动，从而对第一工作台(110)的上表面进行清扫。

技术领域

本发明涉及用于吸附并输送基板的输送体、包括该输送体的输送装置以及包括该输送装置的划线系统。

背景技术

玻璃基板等脆性材料基板的断开是通过在基板表面形成划线的划线工序、以及沿所形成的划线对基板表面附加规定的力的断开工序来进行的。在划线的形成中采用包括划线头的划线装置。

划线装置例如包括供基板载置的工作台，划线头相对于载置于该工作台的基板向水平方向以及上下方向移动。在划线头的下端安装有轮支架，刀轮以旋转自如的方式保持在该轮支架(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-26539号公报

在划线装置中，当形成划线时会从基板产生微小的碎屑(切削粉)。若该碎屑附着在工作台上或基板上，并且工作台在碎屑被夹在工作台与基板之间的状态下进行基板的吸附，则会在基板的表面产生划痕、局部的颜色不均。另外，若在工作台上存在碎屑的状态下将基板载置于工作台上，则基板的上表面的高度会比预先设想的高度高，还会存在导致基板的断开不良的问题。

发明内容

鉴于这样的技术问题，本发明的目的在于，提供一种能以简单的构成顺畅地清扫工作台的上表面的输送体、包括该输送体的输送装置以及包括该输送装置的划线系统。

本发明的第一方面涉及一种输送体，其保持基板，并将基板从第一工作台向第二工作台输送。本方面涉及的输送体包括第一清扫单元，所述第一清扫单元配置于所述基板的输送方向后方，在从所述第一工作台向所述第二工作台输送所述基板的工序中，所述第一清扫单元与所述第一工作台的上表面接触，对所述第一工作台的上表面进行清扫。

根据本方面涉及的输送体，在保持基板并将基板从第一工作台向第二工作台输送的工序中，第一清扫单元与第一工作台的上表面接触。因此，第一清扫单元随着基板的输送，边与第一工作台的上表面接触，边进行移动，对第一工作台的上表面进行清扫。由此，例如即便在第一工作台的上表面散落有碎屑等，也将通过第一清扫单元从第一工作台去除碎屑等。因此，根据本方面涉及的输送体，以在输送体配置第一清扫单元这样的简单的构成即可顺畅地对第一工作台的上表面进行清扫。

在本方面涉及的输送体中，可采用如下构成：所述第一清扫单元包括第一清扫工具和第一驱动部，所述第一驱动部使所述第一清扫工具接触所述第一工作台的上表面以及与所述第一工作台的上表面分离。于是，在清扫第一工作台的上表面的期间以外，能够使第一清扫工具向上方避让。由此，能够抑制第一清扫工具妨碍输送体的输送。

本方面涉及的输送体可采用如下构成：所述输送体还包括第二清扫单元，所述第二清扫单元配置于所述基板的输送方向前方，在从所述第一工作台向所述第二工作台输送所述基板的工序中，所述第二清扫单元与所述第二工作台的上表面接触，对所述第二工作台的上表面进行清扫。根据该构成，在保持基板并从第一工作台向第二工作台输送该基板的工序中，第二清扫单元与第二工作台的上表面接触。因此，第二清扫单元随着基板的输送，边与第二工作台的上表面接触，边进行移动，对第二工作台的上表面进行清扫。由此，例如即便在第二工作台的上表面散落有碎屑等，也将通过第二清扫单元从第二工作台去除碎屑等。因此，以简单的构成即可顺畅地清扫第二工作台的上表面。