[发明专利]输送体、输送装置以及划线系统有效
| 申请号： | 201710800226.3 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN108147062B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 西尾仁孝;高松生芳 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G45/18 | 分类号： | B65G45/18;B65G49/06;H01L21/304;B25H7/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 输送 装置 以及 划线 系统 | ||
1.一种输送装置，保持基板，并将所述基板从第一工作台向第二工作台输送，其特征在于，所述输送装置包括：
第一清扫单元，所述第一清扫单元配置于所述基板的输送方向后方，在从所述第一工作台向所述第二工作台输送所述基板的工序中，所述第一清扫单元与所述第一工作台的上表面接触，对所述第一工作台的上表面进行清扫；
第二清扫单元，所述第二清扫单元配置于所述基板的输送方向前方，在从所述第一工作台向所述第二工作台输送所述基板的工序中，所述第二清扫单元与所述第二工作台的上表面接触，对所述第二工作台的上表面进行清扫；以及
第三清扫单元，所述第三清扫单元配置于所述第一工作台与所述第二工作台之间的输送路径上，在从所述第一工作台向所述第二工作台输送所述基板的工序中，所述第三清扫单元与所述基板的下表面接触，对所述基板的下表面进行清扫，
所述第三清扫单元对所述基板的下表面的清扫与所述第一清扫单元对所述第一工作台的上表面的清扫和所述第二清扫单元对所述第二工作台的上表面的清扫中的至少一者同时进行。
2.根据权利要求1所述的输送装置，其中，
所述第一清扫单元包括第一清扫工具和第一驱动部，所述第一驱动部使所述第一清扫工具接触所述第一工作台的上表面及与所述第一工作台的上表面分离。
3.根据权利要求1所述的输送装置，其中，
所述第二清扫单元包括第二清扫工具和第二驱动部，所述第二驱动部使所述第二清扫工具接触所述第二工作台的上表面及与所述第二工作台的上表面分离。
4.根据权利要求1所述的输送装置，其中，
所述第三清扫单元包括第三清扫工具和第三驱动部，所述第三驱动部使所述第三清扫工具接触所述基板的下表面及与所述基板的下表面分离。
5.一种划线系统，包括：
权利要求1至4中任一项所述的输送装置；以及
划线装置，在载置于所述第一工作台的所述基板上形成划线。
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