[发明专利]一种针对产品量测区域缺陷监控的方法

权利要求书

1.一种针对产品量测区域缺陷监控的方法，其特征在于，包括下列步骤：

步骤一：针对量测站点所选择的量测区域，将该区域设置为缺陷检测区域；

步骤二：根据该站点量测过程需要在芯片所选取的量测样本，缺陷检测程式将其所有的量测样本作为缺陷检测样本；

步骤三：重复步骤一和步骤二对关键制成的每一步量测分别定义不同量测区域作为缺陷检测区域，并且定义需要量测的样本作为缺陷检测样本；

步骤四：定义缺陷检测程式中各缺陷检测样本进行对比的顺序安排；

步骤五：设定所有站点针对量测区域缺陷检测程式的灵敏度，完成各量测区域缺陷检测程式；

其中，所述量测区域为单元芯片之间分界区域上面的量测区域。

2.根据权利要求1所述的针对产品量测区域缺陷监控的方法，其特征在于，该方法还包括步骤六：在芯片完成制成到量测制成之前进行缺陷检测，发现量测区域是否存在异常。

3.根据权利要求1所述的针对产品量测区域缺陷监控的方法，其特征在于，所述芯片版图按照横向和纵向分别进行划分单元芯片。

4.根据权利要求1所述的针对产品量测区域缺陷监控的方法，其特征在于，利用光学检测设备对各缺陷检测样本进行检测。