[发明专利]指纹识别芯片的封装结构及封装方法在审
| 申请号: | 201710796558.9 | 申请日: | 2017-09-06 |
| 公开(公告)号: | CN107644845A | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
| 发明(设计)人: | 吴政达;陈彦亨;林正忠 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/04 | 分类号: | H01L23/04;H01L23/48;H01L21/50 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人: | 余明伟 |
| 地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 指纹识别 芯片 封装 结构 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种半导体封装结构及封装方法,特别是涉及一种指纹识别芯片的封装结构及封装方法。
背景技术
随着集成电路的功能越来越强、性能和集成度越来越高,以及新型的集成电路出现,封装技术在集成电路产品中扮演着越来越重要的角色,在整个电子系统的价值中所占的比例越来越大。同时,随着集成电路特征尺寸达到纳米级,晶体管向更高密度、更高的时钟频率发展,封装也向更高密度的方向发展。
由于扇出晶圆级封装(fowlp)技术由于具有小型化、低成本和高集成度等优点,以及具有更好的性能和更高的能源效率,扇出晶圆级封装(fowlp)技术已成为高要求的移动/无线网络等电子设备的重要的封装方法,是目前最具发展前景的封装技术之一。
指纹识别技术是目前最成熟且价格便宜的生物特征识别技术。目前来说,指纹识别的技术应用最为广泛,不仅在门禁、考勤系统中可以看到指纹识别技术的身影,市场上有了更多指纹识别的应用:如笔记本电脑、手机、汽车、银行支付都可应用指纹识别的技术。
现有的一种指纹识别芯片的封装方法如图1a~图1c所示:
第一步,如图1a所示,在指纹识别芯片11制作深槽,并将其粘合于FPC板12上,然后通过打线工艺制作金属连线13,实现指纹识别芯片11与FP C板12的电连接,其中,FPC是Flexible Printed Circuit的简称,又称软性线路板,其具有配线密度高、重量轻、厚度薄的特点。
第二步,如图1b所示,制作出框架14;
第三步,士1c所示,在所述指纹识别芯片上加盖蓝宝石盖板15,以完成封装。
这种方法具有以下缺点:包括FPC板、指纹识别芯片以及蓝宝石盖板三层结构,封装厚度较厚,金属连线容易因FPC软板拉扯等造成断裂,整体良率较低。
另一种指纹识别芯片的封装方法如图2a~图2c所示:
第一步,如图2a所示,通过硅穿孔TSV技术在指纹识别芯片11中形成通孔电极16;
第二步,如图2b所示,将蓝宝石盖板15、指纹识别芯片11及FPC板12层叠在一起,通过打线工艺制作金属连线13以连接所述指纹识别芯片11及FPC板12;
第三步,如图2c所示,制作出框架14。
这种方法具有以下缺点:需要用蓝宝石盖板封装,厚度较厚,硅穿孔工艺成本较高,金属连线容易因FPC软板拉扯等造成断裂,而且指纹识别芯片的厚度较薄,容易出现裂片现象,整体良率较低。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种指纹识别芯片的封装结构及封装方法,用于解决现有技术中指纹识别封装方法中存在的需要使用蓝宝石盖板、封装厚度较大、良率较低等的问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种指纹识别芯片的封装结构,所述封装结构包括:
重新布线层,所述重新布线层包括相对的第一表面及第二表面;
导电结构,位于所述重新布线层的第一表面,且与所述重新布线层电连接;
指纹识别芯片,位于所述重新布线层的第一表面;所述指纹识别芯片包括功能区域及位于所述功能区域外侧的若干个金属焊盘,所述功能区域内设置有功能器件,所述金属焊盘位于所述指纹识别芯片的正面,且与所述功能器件电连接;所述指纹识别芯片经由所述金属焊盘与所述重新布线层接触连接;及
塑封材料层,位于所述重新布线层的第一表面,将所述指纹识别芯片及所述导电结构封裹塑封,且所述塑封材料层远离所述重新布线层的表面与所述导电结构远离所述重新布线层的表面相平齐。
优选地,所述导电结构为金属连接球或金属柱。
优选地,所述重新布线层包括:
电介质层,所述电介质层与所述塑封材料层相接触的表面为所述重新布线层的第一表面;
金属线层,位于所述电介质层内,且所述金属线层的外表面与所述重新布线层的第一表面相平齐;所述金属焊盘及所述导电结构均与所述金属线层接触连接。
优选地,所述重新布线层包括:
电介质层,所述电介质层与所述塑封材料层相接触的表面为所述重新布线层的第一表面;
金属叠层结构,位于所述电介质层内;所述金属叠层结构包括多层间隔排布的金属线层及金属插塞,所述金属插塞位于相邻所述金属线层之间,以将相邻的所述金属线层电连接;邻近所述塑封材料层的所述金属线层的外表面与所述重新布线层的第一表面相平齐;所述金属焊盘与邻近所述塑封材料层的所述金属线层接触连接。
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