[发明专利]一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法

说明书

本发明公开了一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，涉及掩膜板清洗设备技术领域，为解决现有的掩膜板清洗系统的对掩膜板清洗效果不好的问题而发明。该掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。本发明可用于掩膜板的清洗。

技术领域

本发明涉及掩膜板清洗设备技术领域，尤其涉及一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法。

背景技术

在显示装置的制造过程中，经常会用到掩膜板(Mask)，通过掩膜板的遮挡作用可以在基板上形成所需的图形，例如掩膜板在OLED(Organic Light-Emitting Diode有机发光二极管)显示器件的制作中就发挥着重要的作用，目前OLED器件的有机发光层(EL层)的制备的主要方式是蒸镀，由于掩膜板主要是对基板上不需要覆盖有机发光材料的部分进行遮挡，那么，在蒸镀过程中，掩膜板上就不可避免地会蒸镀上有机发光材料，因此，掩膜板在使用一段时间后就需要对其进行清洗，以去除掩膜板上所蒸镀上的有机发光材料，否则有机发光材料在掩膜板上越积越厚，容易落在基板上，这样对OLED显示器件的显示产生不良影响。由此可见，掩膜板的清洗是否干净直接影响着OLED显示器件的显示质量，掩膜板的清洗主要是由掩膜板清洗设备来完成的，而掩膜板的夹具是掩膜板清洗设备中的重要部件，主要是对掩膜板进行固定，在清洗过程中掩膜板的夹具是掩膜板的载体，其结构设计得是否合理，直接关系着掩膜板的清洗效果。

现有的一种掩膜板的夹具，如图1所示，包括：固定架01，固定架01上设有第一夹爪02和第二夹爪03，第一夹爪02和第二夹爪03用于夹紧掩膜板0200。固定架01用于与移动臂0300固定连接，移动臂0300可带动固定架01沿水平方向(图中的Y方向)和竖直方向(图中的Z方向)移动。在对掩膜板0200进行清洗时，固定架01上的第一夹爪02和第二夹爪03夹紧待清洗的掩膜板0200，然后移动臂0300带着掩膜板的夹具0100以及掩膜板0200伸入到盛有清洗液(比如碳氢药液)的清洗桶槽0400中，掩膜板0200浸在清洗液中，清洗桶槽0400的桶底上还设有一排超声波振子0410(如图2所示)，超声波振子0410可发出超声波振动清洗液，以对掩膜板0200进行清洗。

然而，现有这种掩膜板的夹具中，固定架01与移动臂0300是固定连接，如图2所示，当掩膜板的夹具0100伸入到清洗桶槽0400中后，掩膜板0200的下端很容易对超声波振子0410所发射的超声波进行阻挡，造成超声波很难照射到掩膜板0200的上部，这样导致掩膜板0200上部没被超声波照射到的死角很难被清洗干净，而掩膜板0200上的有机发光材料清洗不干净，则在蒸镀时容易落在基板上，从而对显示器件的显示质量造成不良的影响。

发明内容

本发明的实施例提供一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，用以解决现有的清洗系统对掩膜板清洗效果不好的问题。

为达到上述目的，一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。

进一步地，所述第一驱动装置包括第一电机和传动机构，所述第一电机固定于所述吊架的顶部，所述传动机构的第一端与所述第一电机相连接，所述传动机构的第二端与所述固定架的顶部铰接，且铰接的中心轴线平行于所述转动的中心轴线，所述转动的中心轴线与所述固定架的顶部之间具有用于调整所述固定架相对所述吊架转动角度的距离，所述第一电机可通过所述传动机构驱动所述固定架相对所述吊架转动。