[发明专利]一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法

权利要求书

1.一种掩膜板的夹具，其特征在于，包括：

吊架；

固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；

第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动；

所述第一驱动装置包括第一电机和传动机构，所述第一电机固定于所述吊架的顶部，所述传动机构的第一端与所述第一电机相连接，所述传动机构的第二端与所述固定架的顶部铰接，且铰接的中心轴线平行于所述转动的中心轴线，所述转动的中心轴线与所述固定架的顶部之间具有用于调整所述固定架相对所述吊架转动角度的距离，所述第一电机可通过所述传动机构驱动所述固定架相对所述吊架转动；

所述传动机构包括第一丝杠、第一螺母和传动件，所述第一丝杠与所述第一电机的输出轴连接，并且所述第一丝杠沿所述吊架的纵向延伸，所述第一螺母与所述第一丝杠相配合，所述传动件的第一端与所述第一螺母转动连接，且所述传动件与所述第一螺母之间的转动轴线平行于所述转动的中心轴线，所述传动件的第二端与所述固定架的顶部铰接，

所述传动机构的第一端为所述第一丝杠与所述第一电机的连接端，所述传动机构的第二端为所述传动件的第二端。

2.根据权利要求1所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述固定架包括本体以及第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件与所述本体固定连接，所述第二夹紧件与所述本体活动连接，所述第二夹紧件连接有驱动件，所述驱动件固定于所述本体上，并可驱动所述第二夹紧件向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。

3.根据权利要求2所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述第一夹紧件、所述第二夹紧件沿所述本体的纵向布置，并且所述第二夹紧件位于所述第一夹紧件的上方。

4.根据权利要求2所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述驱动件包括第二电机，所述第二电机固定于所述本体上，所述第二电机的输出轴连接有第二丝杠，所述第二丝杠上配合有第二螺母，所述第二夹紧件与所述第二螺母固定连接，所述第二电机可通过所述第二丝杠驱动所述第二夹紧件可向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。

5.一种掩膜板清洗系统，其特征在于，包括：移动臂、权利要求1～4任一项所述的掩膜板的夹具和清洗桶槽，所述移动臂可沿水平和竖直方向移动，所述吊架与所述移动臂固定连接，所述移动臂可带动所述掩膜板的夹具伸入到所述清洗桶槽的内部，所述清洗桶槽的桶底设置有第一超声波振子，所述第一超声波振子可向上方发射超声波。

6.根据权利要求5所述的掩膜板清洗系统，其特征在于，还包括：超声波振子承载件，所述超声波振子承载件上设有第二超声波振子，所述第二超声波振子可向下方发射超声波，所述超声波振子承载件连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置设置在所述清洗桶槽外，所述第二驱动装置可驱动所述超声波振子承载件移动，以将所述第二超声波振子移动至所述清洗桶槽中。

7.根据权利要求6所述的掩膜板清洗系统，其特征在于，所述清洗桶 槽的桶口处向侧向延伸形成有凸缘，所述第二驱动装置设置在所述凸缘上，所述第二驱动装置包括水平驱动装置和竖直驱动装置，所述水平驱动装置可驱动所述超声波振子承载件沿水平方向移动，所述竖直驱动装置可驱动所述超声波振子承载件沿竖直方向移动。

8.根据权利要求7所述的掩膜板清洗系统，其特征在于，所述水平驱动装置包括水平电机，所述水平电机固定在所述凸缘上，所述水平电机的输出轴上连接有第三丝杠，所述第三丝杠沿水平方向延伸，所述第三丝杠上配合有第三螺母，所述第三螺母上连接有固定件；所述竖直驱动装置包括竖直电机，所述竖直电机固定在所述固定件上，所述竖直电机的输出轴上连接有第四丝杠，所述第四丝杠沿竖直方向延伸，所述第四丝杠上配合有第四螺母，所述第四螺母上与所述超声波振子承载件固定连接。