[发明专利]一种线性模组及其工作方法

说明书

本发明提供一种线性模组，包括壳体、直线传动装置和第一滚动机构，所述壳体具有内腔，所述直线传动装置至少部分设置于所述内腔，所述壳体上设有输出开口，所述输出开口处设有密封带，所述线性模组还包括用于与所述直线传动装置同步移动的第一滚动机构，所述第一滚动机构设置于所述密封带背离所述内腔的一侧，所述第一滚动机构与所述密封带滚动接触，该线性模组洁净度高，密封性好、精度高，且稳定性好。

技术领域

本发明涉及一种线性模组，特别涉及一种设有密封带防尘结构的线性模组。

背景技术

线性模组是一种直线传动装置。线性模组按照驱动方式的不同大致分为皮带式线性模组和丝杠式线性模组。

目前，线性模组包括壳体和直线传动装置。壳体具有内腔，一个贯穿内腔的输出开口，设置在输出开口处的密封带。直线传动装置至少部分设置于内腔，且直线传动装置的输出端穿过输出开口和密封带之间的间隙与外部执行装置连接。这种线性模组一方面避免了外部灰尘进入模组内部，影响线性模组使用寿命和运动精度，另一方面也避免了线性模组内挥发的润滑油脂，摩擦产生的金属颗粒影响线性模组的外部环境。因此广泛应用于自动化工业领域，特别是对于生产环境的洁净度，以及半导体生产设备本身的洁净度要求较高的半导体制造领域。

但这种线性模组的密封带在使用一段时间后容易发生形变和磨损，影响直线传动装置移动的平滑度，即影响线性模组的精度和稳定性；此外仍有部分颗粒溢出影响设备和生产环境的洁净度，且密封带变形后线性模组的密封性降低，使线性模组内部形成的颗粒更易溢出影响设备和生产环境的洁净度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种洁净度高，密封性好、精度高、稳定性好的线性模组。

为解决上述技术问题，本发明提供一种线性模组，包括壳体，以及直线传动装置，所述壳体具有内腔，所述直线传动装置至少部分设置于所述内腔，所述壳体上设有输出开口，所述输出开口处设有密封带，所述线性模组还包括用于与所述直线传动装置同步移动的第一滚动机构，所述第一滚动机构设置于所述密封带背离所述内腔的一侧，所述第一滚动机构与所述密封带滚动接触。

进一步地，所述线性模组还包括用于与所述直线传动装置同步移动的第二滚动机构，所述第二滚动机构设置于所述密封带面向所述内腔的一侧，所述第二滚动机构与所述密封带滚动接触并用于使所述密封带与所述输出开口间形成间隙。

进一步地，所述第二滚动机构的数量为一个，所述第一滚动机构的数量为多个并对称设置在所述第二滚动机构的两侧。

进一步地，所述第一滚动机构的数量为两个。

进一步地，所述第二滚动机构的数量为多个并沿移动方向间隔设置，所述第一滚动机构的数量两个，并对称设置在所述第二滚动机构的外侧。

进一步地，所述第二滚动机构的数量为两个。

进一步地，所述直线传动装置包括用于作直线运动的滑台，所述第二滚动机构和第一滚动机构均设置于所述滑台上并与所述滑台转动连接。

进一步地，所述第一滚动机构靠近所述滑台边缘设置，所述第二滚动机构设置在所述滑台内部。

进一步地，所述滑台包括转接件和固定设置在所述转接件上的滑块，所述第二滚动机构和所述第一滚动机构设置在所述转接件和/或所述滑块上。

进一步地，所述第二滚动机构包括与所述密封带滚动接触的第二耐磨转动件，所述第二耐磨转动件的材质为轻质耐磨材料。

进一步地，所述第一滚动机构包括与所述密封带滚动接触的第一耐磨转动件，所述第一耐磨转动件的材质为磁性耐磨材料。