[发明专利]一种能够进行空气循环的纳米压印设备在审

专利信息
申请号: 201710769532.5 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN107479324A 公开(公告)日: 2017-12-15
发明(设计)人: 赵敏洁;杨彦涛 申请(专利权)人: 无锡英普林纳米科技有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 代理人: 成立珍
地址: 214192 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 能够 进行 空气 循环 纳米 压印 设备
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种纳米压印设备,特别是一种能够进行空气循环的纳米压印设备。

背景技术

现有的纳米压印设备一般采用非循环式空气流通,防止纳米压印过程中的杂质进行循环,并且现有的纳米压印设备在空气进口和出口处均设置空气阀以能够对空气的流速进行管控,但是此量种设计需要的成本均较高。

发明内容

发明目的:本发明在于解决现有的纳米压印设备采用非循环式空气流通或空气阀进行空气管控成本较高的问题。

技术方案:本发明提供以下技术方案:一种能够进行空气循环的纳米压印设备,包括支撑座和升降台,支撑座和升降台的外部设有壳体,升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上,升降台可以沿升降柱移动,所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台,升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯,所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口,所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大,空气出口沿气流的方向直径越来越小。

进一步地,所述空气进口直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网。

进一步地,所述空气进口和空气出口沿同一直线相对设置。

进一步地,所述空气进口和空气出口在壳体的外部通过直径不大于3cm的空气管路连接,空气管路的中部设有空气泵。

进一步地,所述空气管路的外部包覆有一层网状散热膜。

进一步地,所述网状散热膜为网状石墨散热膜。

工作原理:在压印过程中,空气能够带走样品台上样品压印产生的杂质,并且随着空气流动,进入空气管路,最终会阻挡在滤网上,只需进行定时清洗即可,同时,空气进口位置能够通过通孔直径的变化,使得空气流速变小,防止对压印过程产生问题,而空气出口位置相反,空气流速加快,能够提高空气循环的速度。

有益效果:本发明与现有技术相比:采用本发明的设计,能够尽量减缓空气在样品台出的空气流速,并且加快整体的空气循环效率,同时防止循环后的空气携带压印杂质,影响下一次的压印效果。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的解释。

如附图1所示,一种能够进行空气循环的纳米压印设备,包括支撑座1和升降台2,支撑座1和升降台2的外部设有壳体3,升降台2的四周具有多根升降柱4固定于支撑座1上,升降台2可以沿升降柱4移动,所述支撑座1上还设有硅胶垫5和样品台6,升降台2中部设有模板7以及位于模板7上方的紫外灯8,所述壳体3在样平台6的高度位置设有空气进口9和空气出口10,所述壳体3上的空气进口10沿气流的方向直径越来越大,空气出口10沿气流的方向直径越来越小。

所述空气进口9直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网11。

所述空气进口9和空气出口10沿同一直线相对设置。

所述空气进口9和空气出口10在壳体3的外部通过直径不大于3cm的空气管路12连接,空气管路12的中部设有空气泵13。

所述空气管路12的外部包覆有一层网状散热膜(未图示)。

所述网状散热膜为网状石墨散热膜。

在压印过程中,空气能够带走样品台6上样品压印产生的杂质,并且随着空气流动,进入空气管路12,最终会阻挡在滤网11上,只需进行定时清洗即可,同时,空气进口9位置能够通过通孔直径的变化,使得空气流速变小,防止对压印过程产生问题,而空气出口10位置相反,空气流速加快,能够提高空气循环的速度。

本发明提供了一种能够进行空气循环的纳米压印设备,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围,本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡英普林纳米科技有限公司,未经无锡英普林纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710769532.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top