[发明专利]一种能够进行空气循环的纳米压印设备在审
申请号: | 201710769532.5 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN107479324A | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 赵敏洁;杨彦涛 | 申请(专利权)人: | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 成立珍 |
地址: | 214192 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 能够 进行 空气 循环 纳米 压印 设备 | ||
1.一种能够进行空气循环的纳米压印设备,包括支撑座和升降台,支撑座和升降台的外部设有壳体,升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上,升降台可以沿升降柱移动,所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台,升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯,其特征在于:所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口,所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大,空气出口沿气流的方向直径越来越小。
2.根据权利要求1所述的能够进行空气循环的纳米压印设备,其特征在于:所述空气进口直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网。
3.根据权利要求1所述的能够进行空气循环的纳米压印设备,其特征在于:所述空气进口和空气出口沿同一直线相对设置。
4.根据权利要求1所述的能够进行空气循环的纳米压印设备,其特征在于:所述空气进口和空气出口在壳体的外部通过直径不大于3cm的空气管路连接,空气管路的中部设有空气泵。
5.根据权利要求4所述的能够进行空气循环的纳米压印设备,其特征在于:所述空气管路的外部包覆有一层网状散热膜。
6.根据权利要求5所述的能够进行空气循环的纳米压印设备,其特征在于:所述网状散热膜为网状石墨散热膜。
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