[发明专利]一种增粘单元HMDS吹扫结构

权利要求书

1.一种增粘单元HMDS吹扫结构，其特征在于：包括上端盖(1)、上盘盖(2)、整流板(3)、支撑座(5)和热盘体(6)，其中上盘盖(2)安装在支撑座(5)上，上端盖(1)安装在上盘盖(2)中部，在所述支撑座(5)的底板上设有凸台(9)，所述热盘体(6)固装于所述凸台(9)上，晶圆(4)置于所述热盘体(6)上，上端盖(1)、上盘盖(2)、支撑座侧壁(10)、凸台(9)和热盘体(6)围合成密封空间，在所述密封空间中，在所述热盘体(6)上方设有整流板(3)，且所述热盘体(6)和整流板(3)之间形成吹扫区域(12)，所述整流板(3)与上盘盖(2)之间形成回风区域(15)，吹扫区域(12)中的气体由整流板(3)边缘流入回风区域(15)，所述上端盖(1)内设有进气通道(7)和走气槽(8)，所述进气通道(7)与所述吹扫区域(12)相通，所述走气槽(8)与所述回风区域(15)相通，所述走气槽(8)外槽壁上设有出气口(11)；

所述进气通道(7)呈L型，其中所述进气通道(7)的水平段位于所述走气槽(8)上方，所述进气通道(7)的竖直段设置于所述上端盖(1)中部轴线上，所述进气通道(7)的竖直段出口为吹扫口；

所述进气通道(7)的竖直段末端的吹扫口为扩口结构，其中所述吹扫口靠近所述进气通道(7)水平段进气口的一端为吹扫口反向端(16)，所述吹扫口远离所述进气通道(7)水平段进气口的一端为吹扫口正向端(17)，所述吹扫口反向端(16)与整流板(3)之间的夹角α小于所述吹扫口正向端(17)与整流板(3)之间的夹角β。

2.根据权利要求1所述的增粘单元HMDS吹扫结构，其特征在于：所述吹扫口沿着水平方向的任一截面形状均包括光滑连接的半个圆形和半个椭圆形，其中半个圆形构成吹扫口正向端(17)，半个椭圆形构成吹扫口反向端(16)。

3.根据权利要求1所述的增粘单元HMDS吹扫结构，其特征在于：沿着所述上端盖(1)的轴向看去，所述出气口(11)轴线与所述进气通道(7)的水平段轴线垂直。

4.根据权利要求1所述的增粘单元HMDS吹扫结构，其特征在于：所述上端盖(1)与所述上盘盖(2)相连一端包括中部的端柱(13)和设置于所述端柱(13)外侧的端盖侧壁(14)，其中所述端盖侧壁(14)与所述上盘盖(2)固连，所述端柱(13)与所述整流板(3)相抵，所述端柱(13)与所述端盖侧壁(14)之间形成走气槽(8)。

5.根据权利要求1所述的增粘单元HMDS吹扫结构，其特征在于：所述凸台(9)与支撑座侧壁(10)之间留有空隙，所述热盘体(6)边缘固装于所述凸台(9)上。