[发明专利]位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法

权利要求书

1.一种位置检测方法，所述位置检测方法使得计算机通过利用具有第1到第N特征点的模板的模板匹配来检测图像中的目标的位置，其中N是不小于3的自然数，所述方法包括：

在依次将第1到第n个特征点设定为关注特征点的同时，通过对于模板关于图像的多个相对位置中的每一个相对位置重复处理来获得指示模板与图像之间的相关性的指标，其中n小于或等于N；

在对于所述多个相对位置中的每一个相对位置获得所述指标时，确定关注特征点是否为第J特征点，其中J是不小于2且小于N的自然数；

在确定关注特征点为第J特征点的情况下，确定基于第1到第J特征点的处理获得的指示相关性的中间指标是否满足截止条件；并且

在中间指标满足截止条件的情况下，终止处理余下的第(J+1)到第N特征点，

其中，第J特征点和截止条件是通过如下方式确定的：通过依次将第1到第n特征点设定为关注特征点，对模板相对于试验图像的多个相对位置中的每一个重复处理，由此对第1到第n特征点中的每一个获得指示模板与试验图像之间的相关性的指标，以及基于关于试验图像对于第1到第n特征点中的每一个获得的指标的迁移确定第J特征点和截止条件。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述获得中，不对于第1到第(J-1)特征点获得中间指标。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：对于第1到第J特征点获得指示相关性的指标值以及基于所述指标值获得中间指标。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：

依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用关注特征点处的模板的值T(n)作为变量的函数的值进行积分；以及

基于使用通过所述积分获得的值作为变量的函数的值，获得中间指标。

5.根据权利要求3所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：

依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用关注特征点处的模板的值T(n)和对应于关注特征点的图像中的像素的值作为变量的函数的值进行积分；以及

基于使用通过所述积分获得的值作为变量的函数的值，获得中间指标。

6.根据权利要求3所述的方法，其中，对所述多个相对位置中的每一个的所述获得包括：

依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用关注特征点处的模板的值T(n)作为变量的第一函数的值执行第一积分；

依次将第1到第J特征点设定为关注特征点，并且对使用对应于关注特征点的图像中的像素的值作为变量的第二函数的值执行第二积分；和

基于通过第一积分获得的值和通过第二积分获得的值，获得中间指标。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括通过重新布置第1到第N特征点来重新限定第1到第N特征点。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，在对于所述多个相对位置中的每一个的所述获得中，在基于第1到第JN2特征点的处理获得的中间指标满足第二截止条件的情况下，终止处理第(JN2+1)至第N特征点，其中JN2是大于J的自然数。

9.根据权利要求1所述的方法，在使计算机开始执行检测目标在图像中的位置的处理之前，确定第J特征点。