[发明专利]恒温箱在审
申请号: | 201710760359.2 | 申请日: | 2017-08-30 |
公开(公告)号: | CN107393844A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 高春瑞;郑文财 | 申请(专利权)人: | 厦门多彩光电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司35218 | 代理人: | 何家富 |
地址: | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 恒温箱 | ||
1.一种恒温箱,包括一箱体以及一加热风机,该加热风机具有一导通至该箱体内的出风口;其特征在于:
还包括一导流板,该导流板设于该箱体内,固定于该箱体的顶壁上;该导流板与该箱体的顶壁之间具有一间隙,以形成一整流区;
该整流区域设于靠近该加热风机出风口的位置,且该导流板的一端连接于该出风口上,以将该出风口连通至该整流区域;整流区域内背离该出风口的方向为长度方向;
还包括两分流板,两该分流板均设于该整流区域内;两该分流板均倾斜于整流区域内气流吹入方向设置,且分别设于该整流区域宽度方向的两侧,以将整流区域吹入气流分流为一长度方气流以及两宽度方向气流。
2.根据权利要求1所述的恒温箱,其特征在于:该两分流板对称设置,且任一该分流板与整流区域的吹入气流方向夹角为锐角。
3.根据权利要求2所述的恒温箱,其特征在于:该分流板与该出风口吹入整流区域的气流方向夹角为45度。
4.根据权利要求1所述的恒温箱,其特征在于:该两分流板固定于该导流板上,且该分流板的高度小于导流板与该箱体的顶壁之间的间距。
5.根据权利要求1所述的恒温箱,其特征在于:还包括多根固定柱,该固定柱的两端分别连接至该导流板以及该箱体的顶壁,以实现该导流板的固定。
6.根据权利要求1所述的恒温箱,其特征在于:在背离该出风口的方向上,该导流板包括依次连接的固定面板、减速面板以及整流面板;该整流面板大致平行于该箱体的顶壁,以与该箱体的顶壁配合形成该整流区;该减速面板正对该出风口设置,且倾斜于出风口输出气流方向;该固定面板固定于该出风口的下方区域,以封闭出风口气流直接下行通道。
7.根据权利要求6所述的恒温箱,其特征在于:该导流板为薄片状板材。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造