[发明专利]一种光刻胶去胶液

权利要求书

1.一种光刻胶去胶液，其特征在于配方包括：1-30wt％醇类，0.1-10wt％有机醇胺，0.1-5wt％季铵碱，60-90wt％极性非质子有机溶剂以及补足余量的去离子水。

2.根据权利要求1所述的光刻胶去胶液，其特征在于：所述极性非质子有机溶剂为二甲亚砜、环丁砜、二甲基砜、N,N-二甲基甲酰胺，N,N-二甲基乙酰胺，N-甲基吡咯烷酮，碳酸丙二酯、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮中的一种。

3.根据权利要求1所述的光刻胶去胶液，其特征在于：所述有机醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺的一种。

4.根据权利要求1所述的光刻胶去胶液，其特征在于：所述醇类为一元醇、二元醇或三元醇。

5.根据权利要求1所述的光刻胶去胶液，其特征在于：所述配方还包括0.01-2wt％的还原剂，所述还原剂为水合联氨、羟胺或羟胺盐中的一种。

6.根据权利要求1所述的光刻胶去胶液，其特征在于：所述配方还包括0.1-5wt％的阻蚀剂，所述阻蚀剂为唑类、有机胺、氨基酸、硫脲或有机硅酸盐中的一种。