[发明专利]一种剥离药液成分量测方法及系统

说明书

本发明提供一种剥离药液成分量测方法及系统，其中，量测方法包括：执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳‑胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；UV量测模式至少执行一次之后再执行滴定量测模式，或者UV量测模式和滴定量测模式同时执行。本发明根据UV量测速度快的特点，可在其量测完成后即反馈量测数据，同时再次取样立即进行下一次量测，这样PR浓度数据的产出周期可大大缩短，且能减少药液消耗，维持PR浓度在一定水准；而滴定量测时间较长，可使其单独量测，这样能监控药液所有成分浓度。

技术领域

本发明涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种剥离药液成分量测方法及系统。

背景技术

在TFT制程中，剥离（Stripper）工艺起到光阻剥离的作用，即把定义图形（Patten）的光阻（Photorisist，简称PR）用Stripper药液去除的工艺。待进行光阻剥离制程的玻璃经过Stripper制程后光阻溶解在Stripper药液中。药液中的PR浓度和其有效成分胺（Amine，剥离光阻的有效成分）是影响光阻去除能力的关键性参数，通常主设备会配备附属设备—光阻分析仪来量测和监控药液中PR、H₂O及Amine等成分含量。

业界均采用Force Drain模式来管控Striper药液的PR浓度，即在Run货时不断排液、补液来维持药液中PR浓度在一定水准。而排液、补液的量则根据PR浓度来自动调整。PR浓度高时加大排液量，PR浓度低时降低排液量以减少药液消耗。因此对于药液中PR浓度的量测需要具有实时性，能及时准确的反馈药液中PR浓度。

量测Amine等成分的周期较长，一般量测时间为20分钟左右，而通常分析仪会量测两个槽体（Tank）的药液成分后再一同产出数据，故其量测一笔Data的时间约40分钟，由于量测时间较长，在连续Run货时，以STR设备的Run片速度，此期间已经Run过超过60片玻璃，此时又有大量光阻溶解在药液中，而其Force Drain的量还维持在较低水准，可能导致下笔Data产出时PR浓度已急剧飘高，这样就无法有效控制PR浓度。当浓度过高时，通常采用将药液全部排掉补新液的方式，这样会造成药液极大的浪费，且PR浓度飘高期间过货的产品也有良率降低的风险。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种可缩短量测周期，实时反馈光阻浓度的剥离药液成分量测方法及系统。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种剥离药液成分量测方法，包括：

执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；

执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；

所述UV量测模式至少执行一次之后再执行所述滴定量测模式，或者所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行。

其中，执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。

其中，所述UV量测模式执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行所述UV量测模式花费的总时间不超过所述第二量测周期。

其中，所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行时，所述UV量测模式每次执行后，用于量测的剥离药液均回流至主机台。

其中，所述第一量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的光阻浓度和水浓度的时间，所述第二量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的胺、二氧化碳-胺的时间。

其中，所述第一量测周期为4分钟，所述第二量测周期为40分钟。

本发明还提供一种剥离药液成分量测系统，包括：