[发明专利]一种剥离药液成分量测方法及系统有效
| 申请号： | 201710751021.0 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN107328729B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李翔 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N31/16 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 药液 成分 方法 系统 | ||
1.一种剥离药液成分量测方法，其特征在于，包括：
执行紫外分光光度UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；
执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；
所述UV量测模式执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行所述UV量测模式花费的总时间不超过所述第二量测周期，或者所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行。
2.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。
3.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行时，所述UV量测模式每次执行后，用于量测的剥离药液均回流至主机台。
4.根据权利要求1所述的量测方法，其特征在于，所述第一量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的光阻浓度和水浓度的时间，所述第二量测周期是量测两个槽体的剥离药液中的胺、二氧化碳-胺的时间。
5.根据权利要求4所述的量测方法，其特征在于，所述第一量测周期为4分钟，所述第二量测周期为40分钟。
6.一种剥离药液成分量测系统，其特征在于，包括：
紫外分光光度UV量测单元，用于执行UV量测模式，在第一量测周期内对剥离药液中的光阻浓度和水浓度进行量测，并反馈量测数据；
滴定量测单元，用于执行滴定量测模式，在第二量测周期内对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测，并反馈量测数据；
所述UV量测单元执行多次之后再执行所述滴定量测模式，执行所述UV量测模式花费的总时间不超过所述第二量测周期，或者所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行。
7.根据权利要求6所述的量测系统，其特征在于，所述滴定量测单元还用于执行所述滴定量测模式时，在所述第二量测周期内还对剥离药液中的胺浓度和二氧化碳-胺的浓度进行量测并反馈量测数据。
8.根据权利要求6所述的量测系统，其特征在于，所述UV量测模式和所述滴定量测模式同时执行时，所述UV量测模式每次执行后，用于量测的剥离药液均回流至主机台。
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