[发明专利]一种硅片用新型抛光装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片抛光设备技术领域，特别是涉及一种硅片用新型抛光装置。

背景技术

微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案。在大型电子计算机的控制下，无人飞机可以自由地在蓝天飞翔；人造卫星、宇宙飞船、航天飞机可以准确升空、飞行、定位，并自动向地面发回各种信息。在电子计算机的指挥下，火炮、导弹可以弹无虚发，准确击中目标，甚至可以准确击中空中快速移动目标，包括敌方正在飞行中的导弹。工业中广泛使用计算机和各种传感技术，可以节省人力，提高自动化程度及加工精度，大大提高劳动生产效率。机器人已在许多工业领域中出现。

目前我国使用的硅片抛光装置不能够在对硅片抛光的同时进行清洗，容易导致抛光时的磨砂小颗粒对硅片上造成划痕。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种硅片用新型抛光装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种硅片用新型抛光装置，包括抛光装置壳体、三相驱动电机、超声波发生器和液体流出管，所述抛光装置壳体上方安装有保护轴承，所述保护轴承上方安装有传动轴，所述传动轴上方安装有所述三相驱动电机，所述三相驱动电机上方设置有抛光清洗槽，所述抛光清洗槽上方安装有抛光磨片，所述抛光磨片上方安装有超声传输管，所述超声传输管上方连接有所述超声波发生器，所述超声波发生器下方安装有超声波发射探头，所述超声波发射探头下方安装有硅片放置槽，所述硅片放置槽下方连通有减震弹簧，所述抛光装置壳体外侧安装有所述液体流出管，所述抛光装置壳体顶部安装有外部电源插口。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光装置壳体内部设置有所述保护轴承，所述传动轴与所述三相驱动电机连接。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光清洗槽内部设置有所述抛光磨片，所述超声传输管与所述超声波发射探头之间卡接。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述超声波发射探头与所述超声波发生器连接，所述减震弹簧与所述硅片放置槽连接。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述外部电源插口与所述三相驱动电机连接。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光装置壳体为粉末橡胶压制而成，表面进行喷塑处理。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光磨片上有两个通孔，与所述超声传输管连接。

为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光磨片可以进行左右移动，对硅片进行抛光。

本发明的有益效果在于：能够在对硅片抛光的同时对其表面进行超声波清洗，能够有效防止在抛光时掉落的小颗粒粘附在抛光磨片上，对硅片造成划痕。

附图说明

图1是本发明一种硅片用新型抛光装置的主视图；

图2是本发明一种硅片用新型抛光装置的左视图；

图3是本发明一种硅片用新型抛光装置的俯视图。

附图标记说明如下：

1、抛光装置壳体；2、保护轴承；3、传动轴；4、三相驱动电机；5、抛光清洗槽；6、抛光磨片；7、超声传输管；8、超声波发生器；9、超声波发射探头；10、硅片放置槽；11、减震弹簧；12、液体流出管；13、外部电源插口。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明：