[发明专利]一种硅片用新型抛光装置

权利要求书

1.一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：包括抛光装置壳体（1）、三相驱动电机（4）、超声波发生器（8）和液体流出管（12），所述抛光装置壳体（1）上方安装有保护轴承（2），所述保护轴承（2）上方安装有传动轴（3），所述传动轴（3）上方安装有所述三相驱动电机（4），所述三相驱动电机（4）上方设置有抛光清洗槽（5），所述抛光清洗槽（5）上方安装有抛光磨片（6），所述抛光磨片（6）上方安装有超声传输管（7），所述超声传输管（7）上方连接有所述超声波发生器（8），所述超声波发生器（8）下方安装有超声波发射探头（9），所述超声波发射探头（9）下方安装有硅片放置槽（10），所述硅片放置槽（10）下方连通有减震弹簧（11），所述抛光装置壳体（1）外侧安装有所述液体流出管（12），所述抛光装置壳体（1）顶部安装有外部电源插口（13）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光装置壳体（1）内部设置有所述保护轴承（2），所述传动轴（3）与所述三相驱动电机（4）连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光清洗槽（5）内部设置有所述抛光磨片（6），所述超声传输管（7）与所述超声波发射探头（9）之间卡接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述超声波发射探头（9）与所述超声波发生器（8）连接，所述减震弹簧（11）与所述硅片放置槽（10）连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述外部电源插口（13）与所述三相驱动电机（4）连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光装置壳体（1）为粉末橡胶压制而成，表面进行喷塑处理。

7.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光磨片（6）上有两个通孔，与所述超声传输管（7）连接。

8.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光磨片（6）可以进行左右移动，对硅片进行抛光。