[发明专利]COA型阵列基板的制备方法

说明书

本发明公开了一种COA型阵列基板的制备方法，其包括：提供一衬底基板，所述衬底基板上设置有对位标记；在所述衬底基板上制备形成彩色滤光层，包括：利用所述对位标记进行精确对位后，分别制备形成第一颜色光阻单元、第二颜色光阻单元和第三颜色光阻单元；其中，在制备所述第一颜色光阻单元时，将第一颜色光阻材料在所述对位标记的周围制备形成挡墙、在所述对位标记上制备形成间隔层；在所述彩色滤光层上涂覆黑色光阻材料层；利用所述对位标记进行精确对位后，对所述黑色光阻材料层进行曝光显影，形成黑色矩阵。通过设置挡墙和间隔层，减薄覆盖于所述对位标记上的黑色光阻材料层的厚度，解决了COA技术中黑色矩阵无法准确对位的问题。

技术领域

本发明涉及显示器技术领域，尤其涉及一种COA型阵列基板的制备方法。

背景技术

液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。如：液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。

液晶显示装置通常液晶显示面板和背光模组。其中，液晶显示面板的结构主要是由一薄膜晶体管阵列(Thin Film Transistor Array，TFT Array)基板、一彩色滤光片(Color Filter，CF)基板、以及配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。

COA(Color-filter on Array)技术是一种将彩色滤光层直接制作在阵列基板上的一种集成技术，COA技术能够有效解决液晶显示装置对盒工艺中因对位偏差造成的漏光等问题，并能显著提升显示开口率。

在传统的液晶面板制备工艺中，各子像素间隙之间的黑色矩阵直接形成在彩膜基板上，为彩膜基板的第一道制程，因此在黑色矩阵的制备过程中不存在参考对位标记(mark)的问题。然而，在新的COA技术的液晶面板中，最初COA技术仅是将彩膜基板侧的红、绿、蓝三种彩膜层制备到阵列基板上；随着显示技术的发展，将彩膜基板上所有膜层(包括黑色矩阵、彩膜层和柱状隔垫物)都制备在阵列基板上，从而提高面板开口率，并且从根本上解决彩膜基板和阵列基板对盒时对位精度差的问题，避免因对位偏差引起的多种不良发生。

然而，不可回避的一个问题是，将彩膜基板上的黑色矩阵制备到阵列基板上，存在曝光工艺时无法准确读取对位标记的问题。这是由于在制备黑矩阵之前，已经进行了其它图形的制程，因此在制备黑色矩阵时需要识别前面制程各层结构中的对位标记。由于黑色矩阵具有较高的光密度值(Optical Density，OD)，因此在黑色矩阵材料涂布后进行曝光工艺时，难以识别或无法识别到前面制程各层结构中的对位标记，进而影响其与掩模板的对位标记实现对位，导致曝光机难以准确对位甚至无法对位。但是，如果采用较低光密度值的黑矩阵材料，虽然可以增加涂布后对位标记的识别能力，但是黑色矩阵的遮光效果会受到严重影响。

因此，在COA型阵列基板的制备工艺中，在制备黑色矩阵时，如何准确读取对位标记成为目前亟待解决的技术问题。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种COA型阵列基板的制备方法，解决了COA技术中黑色矩阵无法准确对位的问题。

为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种COA型阵列基板的制备方法，其包括：

提供一衬底基板，所述衬底基板上设置有对位标记；

在所述衬底基板上制备形成彩色滤光层，包括：利用所述对位标记进行精确对位后，分别制备形成第一颜色光阻单元、第二颜色光阻单元和第三颜色光阻单元；其中，在制备所述第一颜色光阻单元时，将第一颜色光阻材料在所述对位标记的周围制备形成挡墙、在所述对位标记上制备形成间隔层；