[发明专利]柔性基板的制作方法、柔性基板及柔性显示面板

说明书

本公开属于显示面板领域，具体是关于一种柔性基板的制作方法、柔性基板及柔性显示面板。该制作方法包括：提供一玻璃基板，在所述玻璃基板的表面形成第一柔性材料层；在所述第一柔性材料层表面沉积制备屏障无机层；其中所述屏障无机层包括氧化硅材料层和氮化硅材料层中的至少一个；在所述屏障无机层沉积完成时，对所述屏障无机层表面进行等离子体轰击处理，以提升所述屏障无机层表面的浸润性；在所述屏障无机层表面形成第二柔性材料层，并将所述玻璃基板剥离。本公开可以确保第二柔性材料层良好的附著成膜于该屏障无机层上，无需额外沉积介面无机层来改善介面附著不良等问题，工艺简单成本低。

技术领域

本公开涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种柔性基板的制作方法，该制作方法制备的柔性基板以及包含该柔性基板的柔性显示面板。

背景技术

随着科技的发展与社会的进步，各种显示装置在生活中得到了大量的应用。而在这些显示装置大量运用的基础上，类似于纸张的超薄柔性显示装置由于能够被弯曲，具备良好的便携性，被认为是下一代的显示装置。

目前市场对超薄的柔性显示产品的要求越来越高。为了满足产品需求，更多的显示器件将采用例如塑料、金属等柔性材料来制作显示基板。例如聚酰亚胺PI(Polymide)材料，其拥有优越的材料特性而被广泛使用。

相关技术中，基于PI制备的柔性显示基板需要透过沉积屏障无机层来改善如第一PI层的阻水、阻氧、抗刮刻等特性，但也因此产生该屏障无机层与第二PI层之间介面附著不良等问题。而相关技术中又透过沉积介面无机层来改善上述介面附著不良的问题，但又因此衍生出应力匹配及异物不良等问题。因此，有必要提供一种新的技术方案改善上述方案中存在的一个或者多个问题。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种柔性基板的制作方法，该制作方法制备的柔性基板以及包含该柔性基板的柔性显示面板，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开实施例的第一方面，提供一种柔性基板的制作方法，该方法包括：

提供一玻璃基板，在所述玻璃基板的表面形成第一柔性材料层；

在所述第一柔性材料层表面沉积制备屏障无机层；其中所述屏障无机层包括氧化硅材料层和氮化硅材料层中的至少一个；

在所述屏障无机层沉积完成时，对所述屏障无机层表面进行等离子体轰击处理，以提升所述屏障无机层表面的浸润性；

在所述屏障无机层表面形成第二柔性材料层，并将所述玻璃基板剥离。

本公开的一种示例性实施例中，在所述第一柔性材料层表面沉积制备屏障无机层的步骤包括：

将形成了所述第一柔性材料层的所述玻璃基板置于一腔室；

向所述腔室内提供硅烷气体，同时开启预设等离子体电源向所述腔室内提供等离子体，以在所述第一柔性材料层表面沉积制备所述屏障无机层。

本公开的一种示例性实施例中，在所述屏障无机层沉积完成时，对所述屏障无机层表面进行等离子体轰击处理的步骤包括：

在所述屏障无机层沉积完成时，停止提供硅烷气体并关闭所述预设等离子体电源，然后向所述腔室内持续通入一氧化二氮预设时间；

在所述腔室内通入的一氧化二氮达到预设百分比时，开启所述预设等离子体电源使等离子体随机轰击已形成的所述屏障无机层表面以改变其表面型态。