[发明专利]柔性基板剥离装置及剥离方法

权利要求书

1.一种柔性基板剥离装置，用于将柔性基板从玻璃基板上剥离，其特征在于，所述柔性基板与所述玻璃基板之间设有激光剥离层，所述柔性基板剥离装置包括胶带输送轮、胶带回收轮、剥离辊、镭射激光发生器和胶带，所述胶带输送轮轴向转动以传送所述胶带，所述胶带包括相对设置的第一表面和第二表面，所述剥离辊的表面与所述胶带的第二表面相接触，所述镭射激光发生器用于烧蚀所述激光剥离层，从而实现所述柔性基板和所述玻璃基板的初次剥离，所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板，使得所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上，所述胶带回收轮轴向转动以带动所述胶带使得黏贴在所述胶带的第一表面上的所述柔性基板从所述玻璃基板上剥离，所述剥离辊的位置可移动。

2.如权利要求1所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述胶带输送轮和所述剥离辊之间的位置设置有第一胶带导向轮，所述胶带回收轮和所述剥离辊之间的位置设置有第二胶带导向轮，所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮轴向转动以传送所述胶带，所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮的设置还用于确保所述柔性基板紧贴在所述胶带的第一表面上。

3.如权利要求2所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述胶带的传送始端与所述胶带输送轮相连，所述胶带的传送末端与所述胶带回收轮相连，所述胶带输送轮、所述第一胶带导向轮、所述剥离辊、所述第二胶带导向轮和所述胶带回收轮从右至左依次设置。

4.如权利要求3所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向向右移动；所述胶带输送轮、所述胶带回收轮、所述剥离辊、所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮均绕着各自的转轴沿顺时针方向转动。

5.如权利要求2所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述胶带输送轮、所述胶带回收轮、所述第一胶带导向轮和所述第二胶带导向轮的位置不可移动。

6.如权利要求1所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述胶带回收轮轴向转动以回收所述胶带。

7.如权利要求1所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述柔性基板上制备有柔性器件。

8.如权利要求1至7任意一项所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述胶带为可用紫外光照解胶的胶带。

9.如权利要求8所述的柔性基板剥离装置，其特征在于，所述柔性基板剥离装置还包括紫外光发射装置，所述紫外光发射装置发射紫外光照射所述胶带的第一表面，使得所述胶带的第一表面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离。

10.一种剥离方法，其用于将柔性基板从玻璃基板上剥离，其特征在于，所述剥离方法包括：

提供一柔性基板剥离装置，包括胶带输送轮、胶带回收轮、剥离辊、胶带、镭射激光发生器和紫外光发射装置；

控制所述胶带输送轮以第一预定转速转动以供应所述胶带；

控制所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向或垂直于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板，使得将所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上；

控制所述镭射激光发生器烧蚀所述激光剥离层，从而实现所述柔性基板和所述玻璃基板的初次剥离；

控制所述胶带回收轮以第二预定转速转动以带动所述胶带，使得黏贴在所述胶带的第一表面上的所述柔性基板从所述玻璃基板上剥离；

控制所述紫外光发射装置发射紫外光照射所述胶带的第一表面，使得所述胶带的第一表面失去粘性，从而使得所述柔性基板从所述胶带上剥离；

控制所述胶带回收轮以第三预定转速转动以回收所述胶带。