[发明专利]一种湿制程装置

说明书

技术领域

本发明涉及湿制程工艺设备的技术领域，尤其涉及一种湿制程装置。

背景技术

目前，半导体、电路板、液晶显示屏(LCD，Light Crystal Display)、发光二级管(LED，Light Emitting Diode)以及触摸屏等制作过程中都采用了湿制程生产工艺。而这些湿制程工艺设备如刻蚀槽、种板槽或其他加热药流槽均存在加热情况下溶剂大量挥发的问题，这不仅会造成溶剂浪费，还会导致体系化学组成变化，造成制程波动。同时，挥发的溶剂会在药流槽顶部凝结，形成液滴滴下，滴落在玻璃基板表面造成玻璃基本表面溶剂分布不均匀。

发明内容

本发明提供了一种湿制程反应槽，用于改善在湿制程过程中溶剂挥发、溶剂制程波动和玻璃基板表面不均匀的现象。所述湿制程装置包括：

腔室及设于所述腔室的药液槽，所述腔室包括两个相对的侧壁及连接两个相对侧壁的位于药液槽上方的顶壁和位于药液槽下方的底壁；

至少一个第一导流板和至少一个第二导流板，所述至少一个第一导流板一端与所述顶壁呈夹角固定将所述顶壁与所述药流槽分隔，另一端与所述侧壁之间形成有间隙；

所述至少一个第二导流板一端与所述侧壁连接且与所述第一导流板平行相对，所述至少一个第二导流板位于所述顶壁与所述至少一个第一导流板之间且遮挡所述间隙；

所述至少一个第一导流板和至少一个第二导流板的外侧面上均覆盖有亲溶剂涂层。

其中，所述第一导流板与所述第二导流板均由导热性材料制成。

其中，所述第一导流板和第二导流板均为两个。

所述两个第一导流板均包括第一端和与第一端相对的第二端，所述两个第一导流板的第一端均与所述顶壁呈夹角固定，两个第一导流板的第二端与所述两个侧壁之间具有间隙；

所述两个第二导流板分别与所述两个侧壁固定；且所述两个第二导流板分别与所述两个第一导流板平行相对。

其中，所述导流板的上表面均设置有冷凝水管路。

其中，所述夹角大于等于45度。

其中，所述间隙的宽度为1mm～5mm，且所述第二导流板与所述第一导流板之间的距离为2mm～5mm。

其中，所述亲溶剂涂层为水性环氧树脂体系涂层或有机硅烷系涂层。

其中，所述湿制程装置包括：上喷淋管路、下喷淋管路及位于所述上喷淋管路和下喷淋管路之间的传送部，上喷淋管路、下喷淋管路之间的传送部位于所述第一导流板与所述药液槽之间的位置。

其中，所述腔体的顶壁设有抽风口。

其中，所述第一导流板的长度与第二导流板的长度一致，且所述导流板的宽度大于所述第二导流板的宽度。

综上所述，本发明具有以下有益效果：

由于导流板上表面环绕冷凝水管路、下表面涂层的亲溶剂设计以及导流板与所述药流槽的倾斜角设计，使得药流槽中的溶剂蒸汽在导流板下表面凝结成小液滴，顺沿导流板斜面下滑至药流槽，从而大幅度减少了溶剂挥发造成的浪费，减轻了药液组成变化造成的制程波动，改善了溶剂蒸汽液滴从槽顶滴落造成玻璃基板的局部分布不均匀的问题。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本发明实施例提供的湿制程装置正面视图。

图2是图1所示的湿制程装置的一种实施方式的侧视图。

图3为图1所示的湿制程装置的另一种实施方式的侧视图。

图4是图1所示的第一导流板的结构示意图。

图5是图1所示的第二导流板的结构示意图。

图6是图1所示的所述第一导流板和所述第二导流板表面亲溶剂涂层的润湿角示意图。

图7是图1所示的所述第一导流板与顶壁夹角的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例提供的湿制程装置正面视图，图2为图1所示湿制程装置的一种实施方式的侧视图。请一并参阅图1和图2，本发明实施例提供了一种湿制程装置，所述湿制程装置包括腔室10、设于所述腔室的药液槽20、至少一个第一导流板30和至少一个第二导流板40。