[发明专利]一种湿制程装置在审
| 申请号： | 201710707081.2 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107275267A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 何敏博 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 湿制程 装置 | ||
1.一种湿制程装置，其特征在于，包括：
腔室及设于所述腔室的药液槽，所述腔室包括两个相对的侧壁及连接两个相对侧壁的位于药液槽上方的顶壁和位于药液槽下方的底壁；
至少一个第一导流板和至少一个第二导流板，所述至少一个第一导流板一端与所述顶壁呈夹角固定将所述顶壁与所述药流槽分隔，另一端于所述侧壁之间形成有间隙；
所述至少一个第二导流板一端与所述侧壁连接且与所述第一导流板平行相对，所述至少一个第二导流板位于所述顶壁与所述至少一个第一导流板之间且遮挡所述间隙；
所述至少一个第一导流板和至少一个第二导流板的外侧面上均覆盖有亲溶剂涂层。
2.如权利要求1所述的湿制程装置，其特征在于，所述第一导流板与所述第二导流板均由导热性材料制成。
3.如权利要求1或2所述的湿制程装置，其特征在于，所述第一导流板和第二导流板均为两个，
所述两个第一导流板均包括第一端和与第一端相对的第二端，所述两个第一导流板的第一端均与所述顶壁呈夹角固定，且两个第一导流板的第二端与所述两个侧壁之间具有间隙；
所述两个第二导流板分别与所述两个侧壁固定并与所述间隙相对；且所述两个第二导流板分别与所述两个第一导流板平行相对。
4.如权利要求3所述的湿制程装置，其特征在于，所述导流板的上表面均设置有冷凝水管路。
5.如权利要求3所述的湿制程装置，其特征在于，所述夹角大于等于45度。
6.如权利要求3所述的湿制程装置，其特征在于，所述间隙的宽度为1mm～5mm，且所述第二导流板与所述第一导流板之间的距离为2mm～5mm。
7.如权利要求2所述的湿制程装置，其特征在于，所述亲溶剂涂层为水性环氧树脂体系涂层或有机硅烷系涂层。
8.如权利要求1所述的湿制程装置，其特征在于，所述湿制程装置包括：上喷淋管路、下喷淋管路及位于所述上喷淋管路和下喷淋管路之间的传送部，上喷淋管路、下喷淋管路之间的传送部位于所述第一导流板与所述药液槽之间的位置。
9.如权利要求1所述的湿制程装置，其特征在于，所述腔体的顶壁设有抽风口。
10.如权利要求1-6所述的湿制程装置，其特征在于，所述第一导流板的长度与第二导流板的长度一致，且所述导流板的宽度大于所述第二导流板的宽度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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