[发明专利]吸附方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板制造的技术领域，特别是涉及一种吸附方法。

背景技术

玻璃基板的制备工艺包括涂胶、前烘烤、曝光和后烘烤等。在玻璃基板的制备过程中，玻璃基板需通过真空吸附方式贴附固定于设备平台上。

然而，由于玻璃基板的厚度较薄，传统的真空吸附方式为一次吸附，容易引起玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象，造成玻璃基板容易破片，从而使玻璃基板的合格率较低；由于玻璃基板的表面的变形量较大，使玻璃基板容易滑动，从而使玻璃基板无法进行涂胶、曝光和烘烤等工序。

发明内容

基于此，有必要针对玻璃基板容易破片、合格率较低和容易滑动的问题，提供一种吸附方法。

一种吸附方法，包括：

提供一玻璃基板；

将所述玻璃基板放置于吸附平台上，其中，所述吸附平台上开设有N圈通孔，第1圈通孔邻近所述吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近所述吸附平台的中心；以及

沿所述第1圈通孔至所述第N圈通孔的顺序进行抽真空。

上述的吸附方法，吸附平台上开设有N圈通孔，且第1圈通孔邻近吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近吸附平台的中心，吸附时，先将玻璃基板放置于吸附平台上，然后沿第1圈通孔至第N圈通孔的顺序进行依次抽真空，使玻璃基板的边缘至中心区域依次被吸附，避免了玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象，使玻璃基板被吸附平台吸附时不易破片；由于上述的吸附方法可以避免了玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象，使玻璃基板的表面的变形量较小，从而玻璃基板较好地定位于吸附平台上，可以保证玻璃基板的涂胶、曝光和烘烤等工序的正常进行。

在其中一个实施例中，在分别沿第1圈通孔至第N圈通孔的顺序进行抽真空的步骤之前还包括：

对所述N圈通孔进行吹气，在吸附玻璃基板的步骤之前先对N圈通孔进行吹气，使玻璃基板先调整至适当位置再抽真空，可以使玻璃基板较好地固定于吸附平台上。

在其中一个实施例中，所述通孔的直径为0.15mm～0.2mm，使吸附平台能更好地吸附玻璃基板上，较好地避免玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象；

或，相邻两个所述通孔之间的距离小于或等于3mm，使玻璃基板更牢固地吸附于吸附平台上，较好地避免玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象。

在其中一个实施例中，所述通孔与邻近所述通孔的所述吸附平台的边缘之间的距离小于或等于5mm，使玻璃基板更牢固地吸附于吸附平台上，较好地避免玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象。

在其中一个实施例中，所述N圈通孔为14圈通孔或15圈通孔，使玻璃基板可靠地吸附于吸附平台上。

一种吸附方法，包括：

提供一玻璃基板；

将所述玻璃基板放置于吸附平台上，其中，所述吸附平台上开设有N圈通孔，第1圈通孔邻近所述吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近所述吸附平台的中心；以及

沿所述第N圈通孔至所述第1圈通孔的顺序进行抽真空。

上述的吸附方法，吸附平台上开设有N圈通孔，且第1圈通孔邻近吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近吸附平台的中心，吸附时，先将玻璃基板放置于吸附平台上，然后沿第N圈通孔至第1圈通孔的顺序进行依次抽真空，使玻璃基板的中心区域至边缘依次被吸附，避免了玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象，使玻璃基板被吸附平台吸附时不易破片；由于上述的吸附方法可以避免了玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象，使玻璃基板的表面的变形量较小，从而玻璃基板较好地定位于吸附平台上，可以保证玻璃基板的涂胶、曝光和烘烤等工序的正常进行。

在其中一个实施例中，在分别沿第N圈通孔至第1圈通孔的顺序进行抽真空的步骤之前还包括：

对所述N圈通孔进行吹气，在吸附玻璃基板的步骤之前先对N圈通孔进行吹气，使玻璃基板先调整至适当位置再抽真空，可以使玻璃基板较好地固定于吸附平台上。

在其中一个实施例中，所述通孔的直径为0.15mm～0.2mm，使吸附平台能更好地吸附玻璃基板上，较好地避免玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象；

或，相邻两个所述通孔之间的距离小于或等于3mm，使玻璃基板更牢固地吸附于吸附平台上，较好地避免玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象。

在其中一个实施例中，所述通孔与邻近所述通孔的所述吸附平台的边缘之间的距离小于或等于5mm，使玻璃基板更牢固地吸附于吸附平台上，较好地避免玻璃基板的中间被吸附且边缘翘曲的现象。