[发明专利]吸附方法在审
| 申请号： | 201710707033.3 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107499937A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 孙官恩;张莉;王琦;毛利良;马志锋 | 申请（专利权）人： | 中国南玻集团股份有限公司;深圳南玻应用技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 石佩 |
| 地址： | 518047 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附 方法 | ||
1.一种吸附方法，其特征在于，包括：
提供一玻璃基板；
将所述玻璃基板放置于吸附平台上，其中，所述吸附平台上开设有N圈通孔，第1圈通孔邻近所述吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近所述吸附平台的中心；以及
沿所述第1圈通孔至所述第N圈通孔的顺序进行抽真空。
2.根据权利要求1所述的吸附方法，其特征在于，在分别沿第1圈通孔至第N圈通孔的顺序进行抽真空的步骤之前还包括：
对所述N圈通孔进行吹气。
3.根据权利要求1或2所述的吸附方法，其特征在于，所述通孔的直径为0.15mm～0.2mm；
或，相邻两个所述通孔之间的距离小于或等于3mm。
4.根据权利要求1或2所述的吸附方法，其特征在于，所述通孔与邻近所述通孔的所述吸附平台的边缘之间的距离小于或等于5mm。
5.根据权利要求1或2所述的吸附方法，其特征在于，所述N圈通孔为14圈通孔或15圈通孔。
6.一种吸附方法，其特征在于，包括：
提供一玻璃基板；
将所述玻璃基板放置于吸附平台上，其中，所述吸附平台上开设有N圈通孔，第1圈通孔邻近所述吸附平台的边缘处，第N圈通孔邻近所述吸附平台的中心；以及
沿所述第N圈通孔至所述第1圈通孔的顺序进行抽真空。
7.根据权利要求6所述的吸附方法，其特征在于，在分别沿第N圈通孔至第1圈通孔的顺序进行抽真空的步骤之前还包括：
对所述N圈通孔进行吹气。
8.根据权利要求6或7所述的吸附方法，其特征在于，所述通孔的直径为0.15mm～0.2mm；
或，相邻两个所述通孔之间的距离小于或等于3mm。
9.根据权利要求6或7所述的吸附方法，其特征在于，所述通孔与邻近所述通孔的所述吸附平台的边缘之间的距离小于或等于5mm。
10.根据权利要求6或7所述的吸附方法，其特征在于，所述N圈通孔为14圈通孔或15圈通孔。
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