[发明专利]一种多相合金EBSD分析测试试样的制备方法在审
| 申请号： | 201710695101.9 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN107478668A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李玉坤;杜晓东;张雅;吴玉程;雷璇璇;葛海涛 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司34101 | 代理人： | 乔恒婷 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多相 合金 ebsd 分析 测试 试样 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种多相合金EBSD分析测试试样的制备方法，其特征在于包括如下步骤：
步骤1：线切割试样
利用线切割技术在多相合金原始试样上切取厚度为1～1.5mm的EBSD分析测试试样；
步骤2：试样清洗
将步骤1线切割得到的试样放入无水乙醇中超声清洗去除油污，取出后晾干待用；
步骤3：机械磨光
将步骤2中清洗好的试样利用金相砂纸按粒度由低到高逐级打磨其正反两面至平滑光亮，待试样厚度均匀且小于80μm即可；
步骤4：冲制试样
将步骤3中磨制好的试样用打孔器冲制出直径为Φ2.7～3.2mm的圆片试样；
步骤5：离子束抛光
将步骤4制得的圆片试样进行离子束抛光，得到表面光亮适合EBSD分析测试的圆片试样。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1中线切割速度为0.2～0.3mm/min。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤3中机械磨光工艺采用的金相砂纸为碳化硅金相砂纸。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤5中所述离子束抛光是利用离子减薄仪对试样表面进行抛光处理，其工艺参数为电流为0.5～5μA，电压为3～5eV，离子束入射角度为2～3度，抛光时间为1.5～2h。
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