[发明专利]具有双振膜的差分电容式麦克风有效
| 申请号： | 201710692246.3 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107666645B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 孙恺;荣根兰;胡维;李刚 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 双振膜 电容 麦克风 | ||
1.一种具有双振膜的差分电容式麦克风，包括：
背板；
第一振动膜，被绝缘支撑于所述背板的第一表面，所述背板与第一振动膜构成第一可变电容；
第二振动膜，被绝缘支撑于所述背板的第二表面，所述背板与第二振动膜构成第二可变电容；其特征在于：
所述背板具有至少一个连接孔；
所述第二振动膜具有向背板方向凹陷的凹陷部，所述凹陷部穿过所述连接孔，与第一振动膜绝缘连接。
2.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述连接孔数量为一个，位于背板中心位置。
3.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述连接孔数量为两个以上，均匀对称分布于背板中心四周。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述凹陷部与所述第一振动膜的连接处开设有贯穿所述凹陷部和所述第一振动膜的泄气结构。
5.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述第一振动膜和/或第二振动膜为整体膜结构。
6.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述第一振动膜包括位于边缘的第一固定部以及由所述第一固定部包围的第一振动部，所述第一振动部包括至少一个第一弹性梁，所述第一固定部与第一振动部之间通过所述第一弹性梁连接，或者所述第一固定部与第一振动部之间完全断开。
7.根据权利要求6所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述第一弹性梁与所述背板之间绝缘连接，使所述第一振动部悬空于所述背板的第一表面。
8.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述第二振动膜包括位于边缘的第二固定部以及由所述第二固定部包围的第二振动部，所述第二振动部包括至少一个第二弹性梁，所述第二固定部与第二振动部之间通过所述第二弹性梁连接，或者所述第二固定部与第二振动部之间完全断开。
9.根据权利要求8所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所所述第二弹性梁与所述背板之间绝缘连接，使所述第二振动部悬空于所述背板的第二表面。
10.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述背板还开设有声孔，且所述背板表面设置有凸点。
11.根据权利要求1所述的具有双振膜的差分电容式麦克风，其特征在于，所述第一振动膜和第二振动膜上均开设有释放孔以及泄气结构。
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