[发明专利]激光退火设备和激光退火方法

权利要求书

1.一种激光退火设备，其特征在于，所述激光退火设备包括：

线状激光器和设置在所述线状激光器出光方向上的光线切割器；

所述光线切割器包括板状本体，所述板状本体上设置有由至少两条边限定出的镂空区域，所述镂空区域的两条边沿预设方向逐渐靠近，所述线状激光器在预设照射面上的线状光斑的长度方向不与所述预设方向平行。

2.根据权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述两条边均呈圆弧状。

3.根据权利要求2所述的激光退火设备，其特征在于，所述两条边相切，且切线与所述线状光斑的长度方向垂直。

4.根据权利要求3所述的激光退火设备，其特征在于，所述两条边均呈四分之一圆弧状。

5.根据权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述两条边均为直线边。

6.根据权利要求5所述的激光退火设备，其特征在于，所述两条边相连，且所述两条边构成的夹角的角平分线与所述线状光斑的长度方向垂直。

7.根据权利要求6所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光退火设备还包括移动组件，所述移动组件用于使所述线状激光器和所述光线切割器沿所述预设方向相对移动。

8.根据权利要求7所述的激光退火设备，其特征在于，所述移动组件与所述光线切割器连接，用于移动所述光线切割器。

9.一种激光退火方法，其特征在于，用于通过权利要求1-8任一所述的激光退火设备对位于基台上的矩形非晶硅层进行激光退火，所述方法包括：

启动所述线状激光器，所述线状激光器在所述矩形非晶硅层上的线状光斑的长度方向与所述矩形非晶硅层的预设边成预设夹角，所述预设夹角的角度大于0度且小于90度；

使所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动以改变所述线状激光器的线状光斑在所述非晶硅层上的位置，并在所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动时，通过使所述光线切割器和所述线状激光器沿所述预设方向或所述预设方向的反方向相对移动以调节所述线状光斑的长度，使所述线状光斑的长度与目标长度相同，所述目标长度为所述线状光斑所确定的直线在所述矩形非晶硅层所在区域中的长度。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述使所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动以改变所述线状激光器的线状光斑在所述非晶硅层上的位置，并在所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动时，通过使所述光线切割器和所述线状激光器沿所述预设方向或所述预设方向的反方向相对移动以调节所述线状光斑的长度，使所述线状光斑的长度与目标长度相同，包括：

移动所述基台以改变所述线状激光器的线状光斑在所述非晶硅层上的位置，并在移动所述基台时，通过使所述光线切割器和所述线状激光器沿所述预设方向或所述预设方向的反方向相对移动来调节所述线状光斑的长度，使所述线状光斑的长度与所述目标长度相同。

11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述激光退火设备还包括与所述光线切割器连接的移动组件，所述移动组件用于移动所述光线切割器，所述使所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动以改变所述线状激光器的线状光斑在所述非晶硅层上的位置，并在所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动时，通过使所述光线切割器和所述线状激光器沿所述预设方向或所述预设方向的反方向相对移动以调节所述线状光斑的长度，使所述线状光斑的长度与目标长度相同，包括：

使所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动以改变所述线状激光器的线状光斑在所述非晶硅层上的位置，并在所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动时，通过所述移动组件沿所述预设方向或所述预设方向的反方向移动所述光线切割器来调节所述线状光斑的长度，使所述线状光斑的长度与所述目标长度相同。

12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述矩形非晶硅层与所述激光器相对移动的方向与所述预设方向垂直。

13.根据权利要求9至12任一所述的方法，其特征在于，所述基台的材料包括铝。