[发明专利]有机发光面板及其制作方法、有机发光装置

说明书

本发明涉及一种有机发光面板，包括：有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一侧的第二电极；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。利用本发明提供的技术方案能有效减缓因漏电产生的像素点亮度下降及功耗增大等不良后果，而且所述缓冲电极层和导电电极层的制作工艺、组成元素的种类都是相同的，能够用同一种材料靶材、同一个工艺腔体，降低了工艺复杂性，同时降低生产成本。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机发光面板及其制作方法、有机发光装置。

【背景技术】

近年来，顶发射白光器件的应用已经进入到商品化阶段，有报道称采用顶发射白光器件结合彩色滤光片，在低温多晶硅有源驱动面板上制造3.0英寸的全色显示样机，分辨率为308ppi，这是目前所报道的同类显示设备中的最高分辨率，这表明顶发射白光器件结合彩色滤光片在这种方法在制备大尺寸、高清晰、全彩色显示设备中具有巨大的潜力。但目前，在器件效率、寿命和所用有机材料的稳定性等方面仍存在很多问题，制约着顶发射白光器件的应用。

由于对PPI(Pixels Per Inch，像素每英寸)的要求越来越高，逐渐往顶发射有机显示面板发展，但顶发射白光器件，常用到透明电极技术，透明电极技术往往会对面板造成损伤，降低良率及电学性能。

【发明内容】

本发明的目的旨在提供一种有机发光面板及其制作方法、有机发光装置，以减缓透明电极溅镀工艺带来的影响，降低有机发光面板的成本，提高有机发光面板的工艺良率。

为实现该目的，本发明提供了一种有机发光面板，包括有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一层的第二电极；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。

具体地，所述缓冲电极层、导电电极层元素种类相同。

较佳地，所述缓冲电极层、导电电极层的材料均为透明导电氧化物。

较佳地，所述缓冲电极层的厚度为20nm～100nm，所述导电电极层的厚度为100nm～300nm；所述缓冲电极层的电阻率大于0.1欧姆*厘米。

具体地，所述缓冲电极层的方块电阻的阻值为0.9GΩ/□～1.1GΩ/□，所述导电电极层的方块电阻的阻值为14Ω/□～16Ω/□。

优选地，所述第一电极远离所述有机层的一侧还设有反射层。

具体地，所述反射层为金属材料。

优选地，所述第一电极和第二电极均由透明导电氧化物制成。

优选地，所述第一电极包括由铟、锡和氧组成的化合物，第二电极包括由铟、锌和氧组成的化合物。

优选地，所述有机层发出的光经所述第二电极引出。

优选地，所述有机层发出的是白光。

相应地，本发明还提供了一种有机发光面板的制作方法，所述方法包括：

在基板上形成第一电极；

在所述第一电极上形成有机层；

在所述有机层上溅镀第二电极，所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。

具体地，所述缓冲电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为0.9～1.1kw，氩(元素符号Ar)流量为430～470sccm(标况毫升每分)，氧气流量4.3～4.7sccm，气压为3.0～3.2pa；所述导电电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为2.1～2.5kw，氩流量为68～72sccm，气压为0.65～0.69pa。

具体地，所述缓冲电极层、导电电极层均采用直流磁控反应溅镀。